[发明专利]超疏水-抗腐蚀类金刚石复合薄膜材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种超疏水‑抗腐蚀类金刚石复合薄膜材料的制备方法，超疏水‑抗腐蚀类金刚石复合薄膜材料中镶嵌有金属镍纳米颗粒和多壁碳纳米管，具有典型的纳米晶/非晶结构。超疏水‑抗腐蚀类金刚石复合薄膜材料的制备方法为在大气压、室温、高压条件下电解有机溶剂，使得电解液中的离子向阴极移动均匀的沉积在硅基底上。本发明的制备方法具有设备简单、反应温度低、能耗小、容易掺杂、对环境无污染，且可以大面积全方位沉积的优点。

主权项

1.超疏水‑抗腐蚀类金刚石复合薄膜材料的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤进行：步骤S1、硅片预处理：将硅片在分析纯甲醇中超声清洗5分钟，然后将硅片取出放入质量分数为10％HF水溶液中腐蚀5分钟，最后再将硅片放入分析纯甲醇中超声清洗5分钟，最后用N2吹干；步骤S2、配制电解液：电解液溶剂为分析纯甲醇，乙酰丙酮镍(Ⅱ)在电解液中的浓度为0.04mg/mL‑0.12mg/mL，多壁碳纳米管在电解液中的浓度为0.03mg/mL‑0.11mg/mL；步骤S3、电解实验准备：将预处理好的硅片和不需预处理的铂片分别安装在石墨片下端作为电极的阴极和阳极，然后接通55℃的恒温水浴并通入氮气8h；步骤S4、薄膜沉积：接通电源并调节电压，沉积时间为8h，电解液中的甲醇和乙酰丙酮镍(Ⅱ)开始电解并产生大量气泡，在电场作用下，CH3+和Ni+带动多壁碳纳米管向阴极移动，沉积在硅片上，制备得到超疏水‑抗腐蚀类金刚石复合薄膜材料。