[发明专利]一种导电布磁控溅射工艺在审
| 申请号： | 201810416812.2 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN108505003A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 黄新波;姜欣 | 申请（专利权）人： | 南通康尔乐复合材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226012 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种导电布磁控溅射工艺，包括以下步骤：A、将待溅射导电布固定在加热板上；B、对加热板进行加热，并将导电布加热至设定温度后进行恒温；C、开启真空泵，对真空腔室进行抽真空；D、之后，开启气泵，将惰性气体通入真空腔室内，同时接通中频电源对设置在螺线管内的靶进行供电，靶上的材料与惰性气体发生化学反应生成化合物溅射到导电布表面，本发明采用的溅射工艺操作简单，成本低，溅射均匀，能够提高导电布的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 导电布 溅射 磁控溅射工艺 惰性气体 加热板 加热 化学反应 生成化合物 工艺操作 真空腔室 中频电源 抽真空 螺线管 真空泵 真空腔 气泵 接通 供电 室内 | ||
【主权项】：
1.一种导电布磁控溅射工艺,其特征在于：包括以下步骤：A、将待溅射导电布（1）固定在加热板（2）上；B、对加热板（2）进行加热，并将导电布（1）加热至设定温度后进行恒温；C、开启真空泵（3），对真空腔室（4）进行抽真空；D、之后，开启气泵（5），将惰性气体通入真空腔室（4）内，同时接通中频电源对设置在螺线管（6）内的靶（7）进行供电，靶（7）上的材料与惰性气体发生化学反应生成化合物溅射到导电布（1）表面。
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