[发明专利]光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法

摘要

本发明提供一种光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置及测量方法，属于投影光刻性能检测领域，旨在解决现有技术中由于投影物镜像方视场较大、没有足够大尺寸的探测器直接在线测量的技术问题，其中，所述在线测量装置包括探测器、掩模板、掩模台和工件台，所述掩模板的中心具有长方形孔，在线测量时，光束将掩模板的长方形孔经所述投影物镜成像到像面处，所述探测器探测所述像面处的成像，所述在线测量装置及所述测量方法基于掩模板标记成像的方式，解决了现有技术中存在的投影物镜像方视场较大、没有足够大尺寸的探测器进行直接测量的问题，实现了投影物镜集成后像方视场的在线测试，且测量速度快、易于推广应用。

主权项

1.一种光刻机投影物镜像方视场的在线测量装置，所述光刻机包括投影物镜、照明系统和光源系统，其特征在于：所述在线测量装置包括探测器、掩模板、掩模台和工件台，所述探测器安装在所述工件台上，所述工件台位于所述投影物镜的像面处，所述掩模板安装在所述掩模台上，所述掩模台位于所述投影物镜的物面处，所述掩模板的中央开设有长方形孔，在线测量时，所述光源系统产生的光束经过所述照明系统后从所述长方形孔中透过，并将所述长方形孔经所述投影物镜成像到所述像面处，所述探测器用以探测所述像面处的成像。