[发明专利]一种增强太阳能电池氢钝化能力的富氢PECVD工艺方法

摘要

本发明涉及一种增强太阳能电池氢钝化能力的富氢PECVD工艺，在通常的PECVD镀膜后，将硅烷、氨气关闭，进一步利用氢气进行等离子体沉积。本发明提供的PECVD工艺形成的减反射膜层中具有高浓度的氢含量，为后续的电注入及光注入钝化工艺提供充分的氢，以达到更好的钝化效果提高太阳能电池的光电转换效率。此工艺在现有工业生产条件下进行改造，简单有效，具有较高的实用价值。

主权项

1.一种增强太阳能电池氢钝化能力的富氢PECVD工艺，其特征在于：通过正常NH3预处理、第一、二层镀膜结束后，进行H2等离子体沉积。