[发明专利]线性蒸发源及蒸发装置在审
| 申请号： | 201810408022.X | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN108531866A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 陈海涛 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种线性蒸发源及蒸发装置。线性蒸发源包括：加热炉，具有喷嘴安装面；线性喷嘴组，包括设置在喷嘴安装面上的若干个喷嘴，若干个喷嘴沿第一方向线性排布；第一加热单元，用以加热加热炉靠近线性喷嘴组的一侧，第一加热单元包括若干条环绕设置于加热炉外部的第一加热丝；若干条第一加热丝包括位于加热炉沿第一方向两端的两个第一波浪线段，且第一波浪线段自加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大；以及第二加热单元，用以加热加热炉远离线性喷嘴组的一侧，第二加热单元环绕设置于加热炉的外部。本发明的线性蒸发源能够减小加热炉中间与两端的温度差异，改善加热炉内材料温度的均一性，从而改善线源方向上膜厚的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 加热炉 线性蒸发源 加热单元 线性喷嘴 线段 加热加热炉 环绕设置 蒸发装置 喷嘴 加热丝 均一性 波浪 喷嘴安装面 方向线性 喷嘴安装 温度差异 逐渐增大 减小 排布 上膜 外部 线源 | ||
【主权项】：
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括：加热炉，用以蒸发蒸镀材料，所述加热炉具有喷嘴安装面；线性喷嘴组，包括设置在所述喷嘴安装面上的若干个喷嘴，所述若干个喷嘴沿第一方向线性排布；第一加热单元，用以加热所述加热炉靠近所述线性喷嘴组的一侧，所述第一加热单元包括若干条环绕设置于所述加热炉外部的第一加热丝；所述若干条第一加热丝包括位于所述加热炉沿第一方向两端的两个第一波浪线段，且所述第一波浪线段自所述加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大；以及第二加热单元，用以加热所述加热炉远离所述线性喷嘴组的一侧，所述第二加热单元环绕设置于所述加热炉的外部。
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