[发明专利]线性蒸发源及蒸发装置在审
| 申请号： | 201810408022.X | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN108531866A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 陈海涛 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热炉 线性蒸发源 加热单元 线性喷嘴 线段 加热加热炉 环绕设置 蒸发装置 喷嘴 加热丝 均一性 波浪 喷嘴安装面 方向线性 喷嘴安装 温度差异 逐渐增大 减小 排布 上膜 外部 线源 | ||
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括：
加热炉，用以蒸发蒸镀材料，所述加热炉具有喷嘴安装面；
线性喷嘴组，包括设置在所述喷嘴安装面上的若干个喷嘴，所述若干个喷嘴沿第一方向线性排布；
第一加热单元，用以加热所述加热炉靠近所述线性喷嘴组的一侧，所述第一加热单元包括若干条环绕设置于所述加热炉外部的第一加热丝；所述若干条第一加热丝包括位于所述加热炉沿第一方向两端的两个第一波浪线段，且所述第一波浪线段自所述加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大；以及第二加热单元，用以加热所述加热炉远离所述线性喷嘴组的一侧，所述第二加热单元环绕设置于所述加热炉的外部。
2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述若干条第一加热丝还包括位于所述加热炉沿第一方向的中间位置的第一直线段，所述两个第一波浪线段分别位于所述第一直线段的两端。
3.根据权利要求2所述的线性蒸发源，其特征在于，所述第一直线段与所述第一波浪线段的长度比为10：1～1：10。
4.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述第二加热单元包括若干条平行设置的第二加热丝，所述若干条第二加热丝包括位于所述加热炉沿第一方向中间位置的第二直线段、以及分别位于所述第二直线段两端的两个第二波浪线段，且所述第二波浪线段沿远离所述第二直线段方向的振幅和/或频率逐渐增大。
5.根据权利要求4所述的线性蒸发源，其特征在于，所述第二直线段与所述第二波浪线段的长度比为10：1～1：10。
6.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述第二加热单元包括若干条平行设置的第三加热丝，所述若干条第三加热丝包括位于所述加热炉沿第一方向中间位置的第三波浪线段、以及分别位于所述第三波浪线段两端的两个第三直线段，且所述第三波浪线段自两端向中间的振幅和/或频率逐渐增大。
7.根据权利要求6所述的线性蒸发源，其特征在于，所述第三直线段与所述第三波浪线段的长度比为10：1～1：10。
8.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述第一加热单元与所述第二加热单元相互独立，且所述第二加热单元的位置可调，以靠近或者远离所述第一加热单元。
9.一种蒸发装置，其特征在于，包括如权利要求1～8中任一项所述的线性蒸发源。
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