[发明专利]线性蒸发源及蒸发装置

说明书

本发明涉及一种线性蒸发源及蒸发装置。线性蒸发源包括：加热炉，具有喷嘴安装面；线性喷嘴组，包括设置在喷嘴安装面上的若干个喷嘴，若干个喷嘴沿第一方向线性排布；第一加热单元，用以加热加热炉靠近线性喷嘴组的一侧，第一加热单元包括若干条环绕设置于加热炉外部的第一加热丝；若干条第一加热丝包括位于加热炉沿第一方向两端的两个第一波浪线段，且第一波浪线段自加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大；以及第二加热单元，用以加热加热炉远离线性喷嘴组的一侧，第二加热单元环绕设置于加热炉的外部。本发明的线性蒸发源能够减小加热炉中间与两端的温度差异，改善加热炉内材料温度的均一性，从而改善线源方向上膜厚的均一性。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种线性蒸发源及蒸发装置。

背景技术

有机电致发光显示器是一种基于有机电致发光材料的电流型半导体发光器件，其主要依靠金属电极向发光层施加一定的电压，使发光层中的有机电致发光材料发光，从而实现图像响应。它具有自主发光、高对比度、广视角、快速响应等特性，而被誉为下一代“梦幻显示器”。

制作有机电致发光显示器时，一般利用线性蒸发源蒸镀工艺将有机电致发光材料或者金属材料蒸镀到目标基板上，以制作其中的发光层或者电极。然而，采用传统的线性蒸发源制得的膜层在线源方向(喷嘴的排布方向)上的厚度不均匀，影响有机电致发光显示器的显示效果。

发明内容

基于此，有必要针对如何改善线源方向上膜厚均一性的问题，提供一种能够改善线源方向上膜厚均一性的线性蒸发源及蒸发装置。

一种线性蒸发源，包括：

加热炉，用以蒸发蒸镀材料，所述加热炉具有喷嘴安装面；

线性喷嘴组，包括设置在所述喷嘴安装面上的若干个喷嘴，所述若干个喷嘴沿第一方向线性排布；

第一加热单元，用以加热所述加热炉靠近所述线性喷嘴组的一侧，所述第一加热单元包括若干条环绕设置于所述加热炉外部的第一加热丝；所述若干条第一加热丝包括位于所述加热炉沿第一方向两端的两个第一波浪线段，且所述第一波浪线段自所述加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大；以及

第二加热单元，用以加热所述加热炉远离所述线性喷嘴组的一侧，所述第二加热单元环绕设置于所述加热炉的外部。

本发明的线性蒸发源中，由于第一加热单元的第一波浪线段自加热炉的中间位置向两端的振幅和/或频率逐渐增大，加热时能够对加热炉的两端进行热补偿。这样能够减小加热炉中间与两端的温度差异，改善加热炉内材料温度的均一性，从而改善线源方向(第一方向)上膜厚的均一性，有利于应用。

在其中一个实施例中，所述若干条第一加热丝还包括位于所述加热炉沿第一方向的中间位置的第一直线段，所述两个第一波浪线段分别位于所述第一直线段的两端。

在其中一个实施例中，所述第一直线段与所述第一波浪线段的长度比为10：1～1：10。

在其中一个实施例中，所述第二加热单元包括若干条平行设置的第二加热丝，所述若干条第二加热丝包括位于所述加热炉沿第一方向中间位置的第二直线段、以及分别位于所述第二直线段两端的两个第二波浪线段，且所述第二波浪线段沿远离所述第二直线段方向的振幅和/或频率逐渐增大。

在其中一个实施例中，所述第二直线段与所述第二波浪线段的长度比为10：1～1：10。

在其中一个实施例中，所述第二加热单元包括若干条平行设置的第三加热丝，所述若干条第三加热丝包括位于所述加热炉沿第一方向中间位置的第三波浪线段、以及分别位于所述第三波浪线段两端的两个第三直线段，且所述第三波浪线段自两端向中间的振幅和/或频率逐渐增大。

在其中一个实施例中，所述第三直线段与所述第三波浪线段的长度比为10：1～1：10。