[发明专利]一种静电驱动的太赫兹超材料调制器

摘要

本发明公开了一种静电驱动的太赫兹超材料调制器。调制器由两个相互平行的超材料、处于两个超材料中间的绝缘薄膜构成。这两个超材料具有相同的金属光栅，而金属光栅之间的金属谐振结构分布周期也相同。使用静电吸力和斥力可以调节它们之间的距离，进而改变谐振结构间的耦合状态，从而实现目标频率太赫兹波的调制。本发明公布的调制器虽然加工工艺简单，但是依然具有较高的调制幅度和较宽的有效频段。本发明可以应用于微波段、太赫兹波段。

主权项

1.一种静电驱动的太赫兹超材料调制器，其特征在于：包括第一超材料、第二超材料、第一电极、第二电极和绝缘薄膜；所述绝缘薄膜位于所述第一超材料和所述第二超材料中间；所述第一超材料和所述第二超材料均由片状基底，分布在基底一个表面上的一维金属光栅和在光栅金属条之间，沿着光栅金属条方向周期性分布的金属谐振单元构成；所述第一超材料和所述第二超材料上的光栅周期和光栅方向相同；所述第一超材料上的金属光栅条末端由导线连接到第一电极；所述第二超材料上的金属光栅条末端由导线连接到第二电极；所述第一超材料和第二超材料上的金属谐振单元的分布周期相同；所述第一超材料和所述第二超材料中至少有一个采用柔性材料作为基底。