[发明专利]一种静电驱动的太赫兹超材料调制器

权利要求书

1.一种静电驱动的太赫兹超材料调制器，其特征在于：包括第一超材料、第二超材料、第一电极、第二电极和绝缘薄膜；所述绝缘薄膜位于所述第一超材料和所述第二超材料中间；所述第一超材料和所述第二超材料均由片状基底，分布在基底一个表面上的一维金属光栅和在光栅金属条之间，沿着光栅金属条方向周期性分布的金属谐振单元构成；所述第一超材料和所述第二超材料上的光栅周期和光栅方向相同；所述第一超材料上的金属光栅条末端由导线连接到第一电极；所述第二超材料上的金属光栅条末端由导线连接到第二电极；所述第一超材料和第二超材料上的金属谐振单元的分布周期相同；所述第一超材料和所述第二超材料中至少有一个采用柔性材料作为基底。

2.根据权利要求1所述的静电驱动的太赫兹超材料调制器，其特征在于，所述第一超材料边缘和所述绝缘薄膜粘接，但是并不密封；所述第二超材料边缘和所述绝缘薄膜粘接，但是并不密封；粘接时需要保证所述第一超材料上的金属光栅条和所述第二超材料上的金属光栅条重合。

3.根据权利要求1-2所述的静电驱动的太赫兹超材料调制器，其特征在于，所述绝缘薄膜的厚度小于被调制太赫兹波波长的1/6。

4.根据权利要求1所述的静电驱动的太赫兹超材料调制器，其特征在于，所述第一超材料上的金属谐振单元和所述第二超材料上的金属谐振单元能够相互耦合，且所述耦合对所述第一超材料和所述第二超材料的间距敏感。

5.根据权利要求1所述的静电驱动的太赫兹超材料调制器，其特征在于，所述第一超材料上的金属谐振单元和所述第二超材料上的金属谐振单元由偏振方向垂直于光栅方向的电磁波激发电磁谐振。

6.根据权利要求1-3所述的静电驱动的太赫兹超材料调制器，其特征在于，所述第一超材料在靠近所述绝缘薄膜的一侧表面分布金属光栅和金属谐振单元；所述第二超材料在靠近所述绝缘薄膜的一侧表面分布金属光栅和金属谐振单元。