[发明专利]具有高热容量的装置和用于制造该装置的方法在审
| 申请号： | 201810362279.6 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108726467A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | B·戈勒;M·施泰尔特 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本公开涉及具有衬底(11)的装置(10、20、30、40)，其中，在所述衬底(11)的第一侧(11A)上布置有MEMS结构组(12)，所述MEMS结构组的输出信号在温度变化时变化，此外，该装置(10、20、30、40)具有布置在所述衬底(11)的所述第一侧(11A)上并且具有凹部(14)的壳体结构(13)，所述MEMS结构组(12)布置在所述凹部中。该装置(10、20、30、40)还具有施加在所述壳体结构(13)处的层(15)，所述层提高所述装置(10、20、30、40)的热容量。本公开还涉及用于制造这种装置(10、20、30、40)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 壳体结构 凹部 高热容量 输出信号 热容量 制造 施加 | ||
【主权项】：
1.一种装置(10、20、30、40)，具有：衬底(11)，其中，在所述衬底(11)的第一侧(11A)上布置有MEMS结构组(12)，所述MEMS结构组的输出信号在温度变化时变化，布置在所述衬底(11)的所述第一侧(11A)上并且具有凹部(14)的壳体结构(13)，所述MEMS结构组(12)布置在所述凹部中；以及施加在所述壳体结构(13)处的层(15)，所述层提高所述装置(10、20、30、40)的热容量。
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