[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其背电极的引出方法有效
| 申请号： | 201810360564.4 | 申请日： | 2018-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108649916B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 李国强;李洁;陈辰;高峻宁 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 陈智英 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜体声波谐振器的技术领域，公开了一种薄膜体声波谐振器及其背电极的引出方法。所述薄膜体声波谐振器包括衬底，衬底上依次设置有背电极和压电层，衬底的表面设有凹槽，背电极和衬底表面的凹槽形成空气腔，压电层设有通孔，通孔的下方为背电极，通孔一侧的压电层上设有顶电极，通孔的另一侧以及通孔中设有背电极材料。背电极引出方法主要是在压电薄膜上制备通孔，通孔的下方为背电极，通孔一侧的压电薄膜上沉积顶电极，通孔另一侧的压电薄膜上以及通孔中沉积有背电极材料，背电极通过通孔引出。本发明免去了大面积刻蚀压电薄膜，对薄膜损伤较小；通孔引出电极易覆盖；且本发明可减小器件尺寸，降低功耗和提升性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 电极 引出 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜体声波谐振器中背电极引出方法，其特征在于：包括以下步骤：在表面设有凹槽的衬底上依次沉积背电极和压电薄膜，背电极和衬底表面的凹槽形成空气腔，然后在压电薄膜上制备通孔，通孔的下方为背电极，通孔一侧的压电薄膜上沉积顶电极，通孔另一侧的压电薄膜上以及通孔中沉积有背电极材料，通孔另一侧的压电薄膜上以及通孔中的背电极材料连续沉积，背电极通过通孔引出，将背电极引至压电薄膜的表面。
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