[发明专利]一种沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备

摘要

本发明涉及一种沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备，包括外壳、回收机构、两个进气口、两个出气口和两个第一轴承座，外壳内设有靶棒和喷气机构，回收机构包括回收室、出气管、电磁阀、输气管、输气室、蓄水箱、漏水管、挡板、往复机构、输水管和水泵，喷气机构包括第一电机、传动组件、两个移动组件和两个除尘组件，该沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备，通过回收机构回收残留的甲烷，避免了甲烷的浪费，从而提高了该石墨烯生产设备的实用性，通过喷气机构对靶棒的两侧同步喷气，使得该石墨烯生产设备的沉积效率更高，从而提高了该石墨烯生产设备的市场竞争力。

主权项

1.一种沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备，其特征在于，包括外壳(1)、回收机构、两个进气口(2)、两个出气口(3)和两个第一轴承座(4)，所述回收机构设置在外壳(1)上，两个进气口(2)均设置在外壳(1)的顶部，两个出气口(3)均设置在外壳(1)的底部，两个第一轴承座(4)分别设置在外壳(1)的顶部和底部，所述外壳(1)内设有靶棒(5)和喷气机构，所述靶棒(5)竖向设置，两个第一轴承座(4)分别套设在靶棒(5)的顶端和底端，所述喷气机构设置在外壳(1)的内壁上；所述回收机构包括回收室(6)、出气管(7)、电磁阀(8)、输气管(9)、输气室(10)、蓄水箱(11)、漏水管(12)、挡板(13)、往复机构、输水管(14)和水泵(15)，所述回收室(6)固定在外壳(1)的下方，所述回收室(6)通过出气口(3)与外壳(1)连通，所述出气管(7)水平设置在回收室(6)的底部，所述电磁阀(8)设置在出气管(7)上，所述输气室(10)固定在外壳(1)的上方，所述输气管(9)的一端与回收室(6)内的顶部连通，所述输气管(9)的另一端与输气室(10)连通，所述蓄水箱(11)设置在回收室(6)的下方，所述漏水管(12)设置在蓄水箱(11)和回收室(6)之间，所述回收室(6)通过漏水管(12)与蓄水箱(11)连通，所述漏水管(12)上设有第一开口，所述挡板(13)设置在漏水管(12)内，所述挡板(13)与第一开口相匹配，所述往复机构设置在外壳(1)的下方，所述往复机构与挡板(13)连接，所述蓄水箱(11)通过输水管(14)与回收室(6)内的顶部连通，所述水泵(15)设置在输水管(14)上，所述回收室(6)内设有搅拌机构；所述喷气机构包括第一电机(16)、传动组件、两个移动组件和两个除尘组件，所述第一电机(16)竖向固定在外壳(1)的内部，所述第一电机(16)与其中一个移动组件连接，两个移动组件通过传动组件传动连接，两个除尘组件分别设置在靶棒(5)的两侧，所述除尘组件设置在外壳(1)内的顶部；所述移动组件包括丝杆(17)、移动块(18)、喷头(19)、第二轴承座和导向单元，所述丝杆(17)竖向设置，所述第一电机(16)与两个移动组件中的其中一个移动组件中的丝杆(17)传动连接，所述移动块(18)套设在丝杆(17)上，所述移动块(18)的与丝杆(17)的连接处设有与丝杆(17)相匹配的螺纹，所述喷头(19)固定在移动块(18)的靠近靶棒(5)的一侧，所述第二轴承座固定在外壳(1)内的底部，所述第二轴承座套设在丝杆(17)的底端上，所述导向单元设置在外壳(1)的内壁上，所述导向单元与移动块(18)连接；所述除尘组件包括升降单元和过滤网(20)，所述升降单元设置在外壳(1)内的顶部，所述过滤网(20)竖向设置在升降单元的下方。