[发明专利]一种沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备

权利要求书

1.一种沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备，其特征在于，包括外壳(1)、回收机构、两个进气口(2)、两个出气口(3)和两个第一轴承座(4)，所述回收机构设置在外壳(1)上，两个进气口(2)均设置在外壳(1)的顶部，两个出气口(3)均设置在外壳(1)的底部，两个第一轴承座(4)分别设置在外壳(1)的顶部和底部，所述外壳(1)内设有靶棒(5)和喷气机构，所述靶棒(5)竖向设置，两个第一轴承座(4)分别套设在靶棒(5)的顶端和底端，所述喷气机构设置在外壳(1)的内壁上；

所述回收机构包括回收室(6)、出气管(7)、电磁阀(8)、输气管(9)、输气室(10)、蓄水箱(11)、漏水管(12)、挡板(13)、往复机构、输水管(14)和水泵(15)，所述回收室(6)固定在外壳(1)的下方，所述回收室(6)通过出气口(3)与外壳(1)连通，所述出气管(7)水平设置在回收室(6)的底部，所述电磁阀(8)设置在出气管(7)上，所述输气室(10)固定在外壳(1)的上方，所述输气管(9)的一端与回收室(6)内的顶部连通，所述输气管(9)的另一端与输气室(10)连通，所述蓄水箱(11)设置在回收室(6)的下方，所述漏水管(12)设置在蓄水箱(11)和回收室(6)之间，所述回收室(6)通过漏水管(12)与蓄水箱(11)连通，所述漏水管(12)上设有第一开口，所述挡板(13)设置在漏水管(12)内，所述挡板(13)与第一开口相匹配，所述往复机构设置在外壳(1)的下方，所述往复机构与挡板(13)连接，所述蓄水箱(11)通过输水管(14)与回收室(6)内的顶部连通，所述水泵(15)设置在输水管(14)上，所述回收室(6)内设有搅拌机构；

所述喷气机构包括第一电机(16)、传动组件、两个移动组件和两个除尘组件，所述第一电机(16)竖向固定在外壳(1)的内部，所述第一电机(16)与其中一个移动组件连接，两个移动组件通过传动组件传动连接，两个除尘组件分别设置在靶棒(5)的两侧，所述除尘组件设置在外壳(1)内的顶部；

所述移动组件包括丝杆(17)、移动块(18)、喷头(19)、第二轴承座和导向单元，所述丝杆(17)竖向设置，所述第一电机(16)与两个移动组件中的其中一个移动组件中的丝杆(17)传动连接，所述移动块(18)套设在丝杆(17)上，所述移动块(18)的与丝杆(17)的连接处设有与丝杆(17)相匹配的螺纹，所述喷头(19)固定在移动块(18)的靠近靶棒(5)的一侧，所述第二轴承座固定在外壳(1)内的底部，所述第二轴承座套设在丝杆(17)的底端上，所述导向单元设置在外壳(1)的内壁上，所述导向单元与移动块(18)连接；

所述除尘组件包括升降单元和过滤网(20)，所述升降单元设置在外壳(1)内的顶部，所述过滤网(20)竖向设置在升降单元的下方。

2.如权利要求1所述的沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备，其特征在于，所述往复机构包括第二电机(21)、转动轮(22)、驱动杆(23)、从动杆(24)、限位块(25)和两个竖杆，所述第二电机(21)通过其中一个竖杆与外壳(1)固定连接，所述限位块(25)通过另一个竖杆与蓄水箱(11)固定连接，所述第二电机(21)与转动轮(22)传动连接，所述驱动杆(23)的一端与转动轮(22)的远离圆心处铰接，所述驱动杆(23)的另一端与从动杆(24)的一端铰接，所述从动杆(24)的另一端与挡板(13)固定连接，所述限位块(25)套设在从动杆(24)上。

3.如权利要求1所述的沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备，其特征在于，所述搅拌机构包括第三电机(26)、转动轴(27)和至少两个搅拌板(28)，所述第三电机(26)水平固定在回收室(6)内，所述第三电机(26)与转动轴(27)同轴设置，所述第三电机(26)与转动轴(27)传动连接，各搅拌板(28)周向均匀分布在转动轴(27)的外周上，所述搅拌板(28)上设有三个第一通孔。

4.如权利要求1所述的沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备，其特征在于，所述传动组件包括传动带(29)和两个传动轮(30)，所述传动轮(30)与丝杆(17)一一对应，所述传动轮(30)套设在丝杆(17)上，所述传动轮(30)与丝杆(17)固定连接，两个传动轮(30)通过传动带(29)传动连接。