[发明专利]一种沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备在审

专利信息
申请号: 201810341921.2 申请日: 2018-04-17
公开(公告)号: CN108383113A 公开(公告)日: 2018-08-10
发明(设计)人: 王海涛 申请(专利权)人: 德化利鑫新材料科技有限公司
主分类号: C01B32/186 分类号: C01B32/186
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 362500 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 生产设备 石墨烯 沉积效率 回收机构 甲烷回收 喷气机构 甲烷 进气口 市场竞争力 除尘组件 传动组件 往复机构 移动组件 挡板 出气管 出气口 电磁阀 回收室 漏水管 输气管 输气室 输水管 蓄水箱 轴承座 靶棒 对靶 水泵 电机 残留 回收
【说明书】:

发明涉及一种沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备,包括外壳、回收机构、两个进气口、两个出气口和两个第一轴承座,外壳内设有靶棒和喷气机构,回收机构包括回收室、出气管、电磁阀、输气管、输气室、蓄水箱、漏水管、挡板、往复机构、输水管和水泵,喷气机构包括第一电机、传动组件、两个移动组件和两个除尘组件,该沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备,通过回收机构回收残留的甲烷,避免了甲烷的浪费,从而提高了该石墨烯生产设备的实用性,通过喷气机构对靶棒的两侧同步喷气,使得该石墨烯生产设备的沉积效率更高,从而提高了该石墨烯生产设备的市场竞争力。

技术领域

本发明涉及新材料生产设备领域,特别涉及一种沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备。

背景技术

新材料是指新近发展的或正在研发的、性能超群的一些材料,具有比传统材料更为优异的性能。近年来,新材料越来越受重视,国家也重视新材料产业发展。石墨烯是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的二维碳纳米材料。

现有的石墨烯生产设备在使用化学气相沉积法时,需要通入甲烷作为碳源,在沉积过程中,通过转动靶棒的形式,将气体中的碳原子沉积在靶棒上,导致现有的石墨烯的沉积效率降低,不仅如此,现有的石墨烯生产设备在排除废气时,废气中存在一定未反应的甲烷,导致现有的石墨烯生产设备的实用性大大降低。

发明内容

本发明要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种沉积效率高的具有甲烷回收功能的石墨烯生产设备,包括外壳、回收机构、两个进气口、两个出气口和两个第一轴承座,所述回收机构设置在外壳上,两个进气口均设置在外壳的顶部,两个出气口均设置在外壳的底部,两个第一轴承座分别设置在外壳的顶部和底部,所述外壳内设有靶棒和喷气机构,所述靶棒竖向设置,两个第一轴承座分别套设在靶棒的顶端和底端,所述喷气机构设置在外壳的内壁上;

所述回收机构包括回收室、出气管、电磁阀、输气管、输气室、蓄水箱、漏水管、挡板、往复机构、输水管和水泵,所述回收室固定在外壳的下方,所述回收室通过出气口与外壳连通,所述出气管水平设置在回收室的底部,所述电磁阀设置在出气管上,所述输气室固定在外壳的上方,所述输气管的一端与回收室内的顶部连通,所述输气管的另一端与输气室连通,所述蓄水箱设置在回收室的下方,所述漏水管设置在蓄水箱和回收室之间,所述回收室通过漏水管与蓄水箱连通,所述漏水管上设有第一开口,所述挡板设置在漏水管内,所述挡板与第一开口相匹配,所述往复机构设置在外壳的下方,所述往复机构与挡板连接,所述蓄水箱通过输水管与回收室内的顶部连通,所述水泵设置在输水管上,所述回收室内设有搅拌机构;

所述喷气机构包括第一电机、传动组件、两个移动组件和两个除尘组件,所述第一电机竖向固定在外壳的内部,所述第一电机与其中一个移动组件连接,两个移动组件通过传动组件传动连接,两个除尘组件分别设置在靶棒的两侧,所述除尘组件设置在外壳内的顶部;

所述移动组件包括丝杆、移动块、喷头、第二轴承座和导向单元,所述丝杆竖向设置,所述第一电机与两个移动组件中的其中一个移动组件中的丝杆传动连接,所述移动块套设在丝杆上,所述移动块的与丝杆的连接处设有与丝杆相匹配的螺纹,所述喷头固定在移动块的靠近靶棒的一侧,所述第二轴承座固定在外壳内的底部,所述第二轴承座套设在丝杆的底端上,所述导向单元设置在外壳的内壁上,所述导向单元与移动块连接;

所述除尘组件包括升降单元和过滤网,所述升降单元设置在外壳内的顶部,所述过滤网竖向设置在升降单元的下方。

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