[发明专利]一种制结泵加热硅舟扩散炉

摘要

本发明涉及一种制结泵加热硅舟扩散炉，其包括炉体和设置在炉体内部的硅舟、泵热机构、移动机构和净化箱，其中所述泵热机构连接在硅舟底部、所述硅舟与泵热机构一体安置在所述移动机构上。本制结泵加热硅舟在硅舟本体上小型扩散泵对硅舟本体进行扩散加热，并将整个扩散炉内的蒸发过程形成双层蒸发，扩散炉有效改善了现有的气体减压阀密封性能差的问题，该用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉结构设计合理简单，硅舟四周设有设有棱角结构的栅栏能够阻挡气流直接吹向硅舟内部，从技术参数的一致性，提高硅片质量，同时设有扩散炉本体内设有漏斗状抽气罩，排掉出舟时散发的大量高温有毒气体，确保作业的安全性能。

主权项

1.一种制结泵加热硅舟扩散炉，其特征是：包括炉体(1)和设置在炉体内部的硅舟(2)、泵热机构(3)、移动机构(4)和净化箱(5)，其中所述泵热机构(3)连接在硅舟(2)底部、所述硅舟(2)与泵热机构(3)一体安置在所述移动机构(4)上。