[发明专利]一种采用红外线加热退火优化透明导电薄膜质量的方法在审
| 申请号： | 201810312783.5 | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN108468019A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 刘生忠;常远程;冯江山;朱小宁;朱学杰;吴强;肖锋伟;杨钊;李云虎;邓增社 | 申请（专利权）人： | 陕西煤业化工技术研究院有限责任公司;陕西师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/58;C23C16/40;C23C16/56;C23C4/11;C23C4/18 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种采用红外线加热退火优化透明导电薄膜质量的方法，首先在衬底上制备透明导电薄膜；再将制备的透明导电薄膜放置在红外线照射下进行加热退火热处理，得到优化的透明导电薄膜；采用红外线照射加热的方法，能够解决在低温下制备柔性衬底透明导电薄膜这一难题，并且能解决传统退火处理的不均匀性，节省炉体的建造费用及空间，红外加热为辐射加热，在真空条件下也能实现快速加热，红外加热装置的组合、安装及维修简单容易；温度控制容易、且升温迅速，并较具安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 透明导电薄膜 制备 退火 红外线加热 红外线照射 衬底 优化 红外加热装置 热处理 不均匀性 辐射加热 红外加热 加热退火 快速加热 退火处理 真空条件 炉体 加热 建造 维修 | ||
【主权项】：
1.一种采用红外线加热退火优化透明导电薄膜质量的方法，其特征在于，首先在衬底上制备透明导电薄膜；再将制备的透明导电薄膜放置在红外线照射下进行加热退火热处理，得到优化的透明导电薄膜。
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