[发明专利]检查装置、检查方法及膜卷绕体的制造方法有效
| 申请号： | 201810292650.6 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108693199B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 加集功士;四宫由隆 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;H01M50/403;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检查装置、检查方法及膜卷绕体的制造方法。缺陷检查装置(1)具备：射线源(2)，其对隔膜卷绕体(10)呈放射状射出电磁波(R)；TDI传感器(4)，其对透过隔膜卷绕体(10)的电磁波(R)进行检测；以及移动机构(3)，其一边将射线源(2)与隔膜卷绕体(10)的距离以及射线源(2)与TDI传感器(4)的距离保持为大致固定，一边使隔膜卷绕体(10)中的检查区域移动。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 卷绕 制造 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，其特征在于，具备：射线源，其从检查对象物的厚度方向对所述检查对象物呈放射状射出电磁波；TDI传感器，其相对于所述检查对象物设置于与所述射线源相反的一侧，对透过所述检查对象物的所述电磁波进行检测；以及移动机构，其一边将所述射线源与所述检查对象物的距离以及所述射线源与所述TDI传感器的距离保持为大致固定，一边使所述检查对象物中的检查区域移动。
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