[发明专利]空气腔型薄膜体声波谐振器及其制作方法有效
| 申请号： | 201810265389.0 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108471298B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 余伦;李焘;张辉;张晓东;于国浩;张宝顺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空气腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法。所述空气腔型薄膜体声波谐振器包括衬底、SiC支撑层、石墨烯下电极、压电层以及上电极，所述衬底具有相背对的第一表面和第二表面，所述SiC支撑层设置在衬底的第一表面上，所述石墨烯下电极直接生长在SiC支撑层上，所述压电层的至少局部区域覆设在石墨烯下电极上，所述上电极设置在压电层上，所述衬底的第二表面上还形成有空气腔。较之现有技术，本发明对空气腔型薄膜体声波谐振器的结构进行了优化，能在显著提高器件性能的同时，保证器件的稳定与可靠性，且其制作方法简单，易于大规模实施。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 薄膜 声波 谐振器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种空气腔型薄膜体声波谐振器，其特征在于包括衬底、SiC支撑层、石墨烯下电极、压电层以及上电极，所述衬底具有相背对的第一表面和第二表面，所述SiC支撑层设置在衬底的第一表面上，所述石墨烯下电极设置在SiC支撑层上，所述压电层的至少局部区域覆设在石墨烯下电极上，所述上电极设置在压电层上，所述衬底的第二表面上还形成有空气腔。
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