[发明专利]玻璃蚀刻装置和玻璃蚀刻方法

摘要

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置包括台、喷嘴部和至少一个第一加热单元，其中，台提供布置玻璃衬底的安置面，喷嘴部与所述台相对并且在朝向台的方向上喷射蚀刻溶液，其中玻璃衬底置于喷嘴部与台之间，并且至少一个第一加热单元对台的一部分进行加热，其中，台包括第一部分和第二部分，其中，第一部分具有第一平均温度，并且第二部分与第一部分连接并具有低于第一平均温度的第二平均温度，其中，第一加热单元与第一部分重叠以对第一部分进行加热。

主权项

1.玻璃蚀刻装置，包括：台，所述台提供布置玻璃衬底的安置面；喷嘴部，所述喷嘴部与所述台相对并且在朝向所述台的方向上喷射蚀刻溶液，其中所述玻璃衬底置于所述喷嘴部与所述台之间；以及至少一个第一加热单元，所述至少一个第一加热单元对所述台的一部分进行加热，其中，所述台包括：第一部分，所述第一部分具有第一平均温度；以及第二部分，所述第二部分与所述第一部分连接，并且具有低于所述第一平均温度的第二平均温度，其中，所述第一加热单元与所述第一部分重叠以对所述第一部分进行加热。