[发明专利]玻璃蚀刻装置和玻璃蚀刻方法

说明书

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置包括台、喷嘴部和至少一个第一加热单元，其中，台提供布置玻璃衬底的安置面，喷嘴部与所述台相对并且在朝向台的方向上喷射蚀刻溶液，其中玻璃衬底置于喷嘴部与台之间，并且至少一个第一加热单元对台的一部分进行加热，其中，台包括第一部分和第二部分，其中，第一部分具有第一平均温度，并且第二部分与第一部分连接并具有低于第一平均温度的第二平均温度，其中，第一加热单元与第一部分重叠以对第一部分进行加热。

技术领域

本发明涉及玻璃蚀刻装置，更具体地，涉及容易根据区域来调节玻璃衬底的厚度的玻璃蚀刻装置。

背景技术

为了减小玻璃衬底的重量，或者为了改变玻璃衬底的设计形状或使表面变得光滑，可对玻璃衬底的厚度执行蚀刻工艺。

对于蚀刻工艺，最常用的方法有：将玻璃衬底浸泡在填充有蚀刻溶液的容器中进行蚀刻的浸渍(Dipping)方式或将蚀刻溶液喷射至玻璃衬底的表面的喷射(Spray)方式等。

发明内容

本发明的目的在于提供容易根据区域对玻璃衬底进行蚀刻的玻璃衬底蚀刻装置。

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置包括台、喷嘴部和至少一个第一加热单元，其中，台提供布置玻璃衬底的安置面，喷嘴部与台相对并且在朝向台的方向上喷射蚀刻溶液，其中玻璃衬底置于喷嘴部与台之间，并且至少一个第一加热单元对台的一部分进行加热，其中，台包括第一部分和第二部分，其中，第一部分具有第一平均温度，并且第二部分与第一部分连接并且具有低于第一平均温度的第二平均温度，其中，第一加热单元与第一部分重叠以对第一部分进行加热。

第一加热单元布置在第一部分的内部。

第二部分提供为多个并在一方向上与第一部分的两侧连接，第一加热单元提供为多个并在一方向上排列，在平面上限定有虚拟的中心线，中心线与垂直于一方向的方向平行并且经过第一部分的中心，并且随着第一加热单元与中心线之间的距离增加，第一加热单元的尺寸减小。

第二部分提供为多个并在一方向上与第一部分的两侧连接，第一加热单元提供为多个并在一方向上排列，在平面上限定有虚拟的中心线，中心线与垂直于一方向的方向平行并且经过第一部分的中心，并且随着第一加热单元与中心线之间的距离增加，第一加热单元与安置面之间的距离增加。

第二部分提供为多个并在一方向上与第一部分的两侧连接，第一加热单元提供为多个并在一方向上排列，在平面上限定有虚拟的中心线，中心线与平行于一方向的方向平行并且经过第一部分的中心，并且随着第一加热单元与中心线之间的距离增加，彼此相邻的第一加热单元之间的距离增加。

第一部分包括多个槽，多个槽从面对喷嘴部的安置面朝向内侧凹陷，并且第一加热单元插入到槽中。

槽和第一加热单元中的每个在一方向上延伸。

第一加热单元的外表面的一部分通过槽暴露，并且第一加热单元的外表面的暴露的部分布置在与安置面相同的平面上。

第一加热单元布置在台的与安置面相对的后表面上。

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置还包括第二加热单元，第二加热单元与第二部分重叠以对第二部分进行加热。

第一加热单元布置在第一部分的内部，并且第二加热单元布置在台的后表面上。

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置包括台和多个喷头，其中，台包括安置玻璃衬底的折叠区域的第一部分和安置玻璃衬底的非折叠区域的第二部分，并且多个喷头与台相对，其中玻璃衬底置于多个喷头与台之间，喷头包括至少一个第一喷头和第二喷头，其中至少一个第一喷头与第一部分重叠并且向第一部分喷射第一温度的蚀刻溶液，并且第二喷头与第二部分重叠并且向第二部分喷射第二温度的蚀刻溶液，其中，第二温度低于第一温度。