[发明专利]玻璃蚀刻装置和玻璃蚀刻方法

权利要求书

1.玻璃蚀刻装置，包括：

台，所述台提供布置玻璃衬底的安置面；

喷嘴部，所述喷嘴部与所述台相对并且在朝向所述台的方向上喷射蚀刻溶液，其中所述玻璃衬底置于所述喷嘴部与所述台之间；以及

至少一个第一加热单元，所述至少一个第一加热单元对所述台的一部分进行加热，

其中，所述台包括：

第一部分，所述第一部分具有第一平均温度；以及

第二部分，所述第二部分与所述第一部分连接，并且具有低于所述第一平均温度的第二平均温度，

其中，所述第一加热单元与所述第一部分重叠以对所述第一部分进行加热。

2.如权利要求1所述的玻璃蚀刻装置，其中，所述第一加热单元布置在所述第一部分的内部。

3.如权利要求2所述的玻璃蚀刻装置，其中，

所述第二部分提供为多个并在一方向上与所述第一部分的两侧连接，

所述第一加热单元提供为多个并在所述一方向上排列，

在平面上限定有虚拟的中心线，所述中心线与垂直于所述一方向的方向平行并且经过所述第一部分的中心，以及

随着所述第一加热单元与所述中心线之间的距离增加，所述第一加热单元的尺寸减小。

4.如权利要求2所述的玻璃蚀刻装置，其中，

所述第二部分提供为多个并在一方向上与所述第一部分的两侧连接，

所述第一加热单元提供为多个并在所述一方向上排列，

在平面上限定有虚拟的中心线，所述中心线与垂直于所述一方向的方向平行并且经过所述第一部分的中心，以及

随着所述第一加热单元与所述中心线之间的距离增加，所述第一加热单元与所述安置面之间的距离增加。

5.如权利要求2所述的玻璃蚀刻装置，其中，

所述第二部分提供为多个并在一方向上与所述第一部分的两侧连接，

所述第一加热单元提供为多个并在所述一方向上排列，

在平面上限定有虚拟的中心线，所述中心线与垂直于所述一方向的方向平行并且经过所述第一部分的中心，以及

随着所述第一加热单元与所述中心线之间的距离增加，彼此相邻的所述第一加热单元之间的距离增加。

6.如权利要求1所述的玻璃蚀刻装置，其中，

所述第一部分包括多个槽，所述多个槽从面对所述喷嘴部的所述安置面朝向内侧凹陷，以及

所述第一加热单元插入到所述槽中。

7.如权利要求6所述的玻璃蚀刻装置，其中，所述槽和所述第一加热单元中的每个在一方向上延伸。

8.如权利要求7所述的玻璃蚀刻装置，其中，所述第一加热单元的外表面的一部分通过所述槽暴露，并且所述第一加热单元的外表面的暴露的部分布置在与所述安置面相同的平面上。

9.如权利要求1所述的玻璃蚀刻装置，其中，所述第一加热单元布置在所述台的与所述安置面相对的后表面上。

10.如权利要求1所述的玻璃蚀刻装置，还包括：

第二加热单元，所述第二加热单元与所述第二部分重叠以对所述第二部分进行加热。