[发明专利]压电驱动装置、压电电机、机器人及电子部件输送装置

摘要

本申请公开了压电驱动装置、压电电机、机器人及电子部件输送装置。本申请提供能够稳定地进行驱动状态的检测的压电驱动装置，此外提供具有该压电驱动装置的压电电机、机器人、电子部件输送装置以及打印机。压电驱动装置具备：压电致动器，具有进行振动的振动部和从所述振动部突出的突出部；被驱动部件；光学尺；传感器，接收来自所述光学尺的透过光或反射光，输出基于其光接收强度的信号，所述光学尺与所述传感器对置的对置区域配置为相对于所述突出部和所述被驱动部件接触的接触部向所述光学尺和所述传感器排列的方向上的一侧偏移。

主权项

1.一种压电驱动装置，其特征在于，具备：第一部件；第二部件，配置于所述第一部件的铅直方向上侧；压电致动器，配置于所述第一部件和所述第二部件中一方，并具有进行振动的振动部和从所述振动部突出的突出部；被驱动部件，配置于所述第一部件和所述第二部件中另一方，通过伴随着所述振动部的振动的所述被驱动部件与所述突出部的接触，从而所述被驱动部件相对于所述压电致动器相对地改变位置或姿势；光学尺，配置于所述第一部件和所述第二部件中一方，伴随着所述被驱动部件相对于所述压电致动器的相对的位置或姿势的变化，所述光学尺相对于所述压电致动器或所述被驱动部件相对地改变位置或姿势；以及传感器，配置于所述第一部件和所述第二部件中另一方，接收来自所述光学尺的透过光或反射光，并输出与所接收到的透过光或反射光的光接收强度对应的信号，所述光学尺的尺面以及所述传感器的传感器面位于所述突出部与所述被驱动部件接触的接触部的铅直方向上侧。