[发明专利]压电驱动装置、压电电机、机器人及电子部件输送装置

权利要求书

1.一种压电驱动装置，其特征在于，具备：

第一部件；

第二部件，配置于所述第一部件的铅直方向上侧；

压电致动器，配置于所述第一部件和所述第二部件中一方，并具有进行振动的振动部和从所述振动部突出的突出部；

被驱动部件，配置于所述第一部件和所述第二部件中另一方，通过伴随着所述振动部的振动的所述被驱动部件与所述突出部的接触，从而所述被驱动部件相对于所述压电致动器相对地改变位置或姿势；

光学尺，配置于所述第一部件和所述第二部件中一方，伴随着所述被驱动部件相对于所述压电致动器的相对的位置或姿势的变化，所述光学尺相对于所述压电致动器或所述被驱动部件相对地改变位置或姿势；以及

传感器，配置于所述第一部件和所述第二部件中另一方，接收来自所述光学尺的透过光或反射光，并输出与所接收到的透过光或反射光的光接收强度对应的信号，

所述光学尺的尺面以及所述传感器的传感器面位于所述突出部与所述被驱动部件接触的接触部的铅直方向上侧，

所述被驱动部件的与所述突出部接触的面与所述光学尺的尺面朝向同一侧。

2.一种压电驱动装置，其特征在于，具备：

压电致动器，具有进行振动的振动部和从所述振动部突出的突出部；

被驱动部件，通过伴随着所述振动部的振动的所述被驱动部件与所述突出部的接触，从而所述被驱动部件相对于所述压电致动器相对地改变位置或姿势；

光学尺，伴随着所述被驱动部件相对于所述压电致动器的相对的位置或姿势的变化，所述光学尺相对于所述压电致动器或所述被驱动部件相对地改变位置或姿势；以及

传感器，接收来自所述光学尺的透过光或反射光，并输出与所接收到的透过光或反射光的光接收强度对应的信号，

所述光学尺与所述传感器对置的对置区域配置为相对于所述突出部与所述被驱动部件接触的接触部向所述光学尺和所述传感器排列的方向上的一侧偏移，所述被驱动部件的与所述突出部接触的面与所述光学尺的尺面朝向同一侧。

3.根据权利要求2所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述压电驱动装置具备：

第一部件，所述被驱动部件以及所述光学尺设置于所述第一部件；以及

第二部件，支承所述压电致动器以及所述传感器，并设置为相对于所述第一部件能够相对地改变位置或姿势。

4.根据权利要求3所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述第一部件具有第一设置面和第二设置面，所述被驱动部件设置于所述第一设置面，所述光学尺设置于所述第二设置面、且所述第二设置面的高度与所述第一设置面的高度不同。

5.根据权利要求4所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述第一部件在所述第一设置面和所述第二设置面的边界具有与所述第一设置面以及所述第二设置面相交的第一面。

6.根据权利要求4或5所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述第一部件具有凹部，所述第一设置面构成所述凹部的底面。

7.一种压电电机，其特征在于，

具备权利要求1至6中任一项所述的压电驱动装置。

8.一种机器人，其特征在于，

具备权利要求1至6中任一项所述的压电驱动装置。

9.一种电子部件输送装置，其特征在于，

具备权利要求1至6中任一项所述的压电驱动装置。

10.一种打印机，其特征在于，

具备权利要求1至6中任一项所述的压电驱动装置。