[发明专利]压电驱动装置、压电电机、机器人及电子部件输送装置

说明书

本申请公开了压电驱动装置、压电电机、机器人及电子部件输送装置。本申请提供能够稳定地进行驱动状态的检测的压电驱动装置，此外提供具有该压电驱动装置的压电电机、机器人、电子部件输送装置以及打印机。压电驱动装置具备：压电致动器，具有进行振动的振动部和从所述振动部突出的突出部；被驱动部件；光学尺；传感器，接收来自所述光学尺的透过光或反射光，输出基于其光接收强度的信号，所述光学尺与所述传感器对置的对置区域配置为相对于所述突出部和所述被驱动部件接触的接触部向所述光学尺和所述传感器排列的方向上的一侧偏移。

技术领域

本发明为涉及压电驱动装置、压电电机、机器人、电子部件输送装置以及打印机。

背景技术

通过压电元件使振动体振动从而驱动被驱动部件的压电致动器为人们所熟知(例如，参照专利文献1)。例如，专利文献1所记载的装置具有可转动的转工作台、产生使转工作台转动的驱动力的压电致动器、以及检测转工作台的转动角度的角度检测单元，角度检测单元具有码盘以及编码器传感器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-096187号公报

发明内容

一般情况下，用于专利文献1所记载的这样的装置的压电致动器伴随着驱动，与被驱动部件接触的部分可能被磨损，产生磨损粉。在专利文献1所记载的装置中，如上所述的磨损粉附着于码盘或编码器传感器，可能产生检测不良的问题。

本发明的目的在于，提供能够稳定地进行驱动状态的检测的压电驱动装置，或提供具有该压电驱动装置的压电电机、机器人、电子部件输送装置以及打印机。

通过下述本发明达成上述目的。

本发明的压电驱动装置的特征在于，具备：第一部件；第二部件，配置于所述第一部件的铅直方向上侧；压电致动器，配置于所述第一部件和所述第二部件中一方，并具有进行振动的振动部和从所述振动部突出的突出部；被驱动部件，配置于所述第一部件和所述第二部件中另一方，通过伴随着所述振动部的振动的所述被驱动部件与所述突出部的接触，从而所述被驱动部件相对于所述压电致动器相对地改变位置或姿势；光学尺，配置于所述第一部件和所述第二部件中一方，伴随着所述被驱动部件相对于所述压电致动器的相对的位置或姿势的变化，所述光学尺相对于所述压电致动器或所述被驱动部件相对地改变位置或姿势；传感器，配置于所述第一部件和所述第二部件中另一方，接收来自所述光学尺的透过光或反射光，并输出与所接收到的透过光或反射光的光接收强度对应的信号，所述光学尺的尺面和所述传感器的传感器面中至少一方位于所述突出部与所述被驱动部件接触的接触部的铅直方向上侧。

根据这样的压电驱动装置，由于光学尺的尺面和传感器的传感器面中至少一方位于突出部与被驱动部件接触的接触部的铅直方向上侧，所以能够减少伴随着突出部以及被驱动部件的摩擦滑动在它们的接触部产生的磨损粉到达光学尺的尺面以及传感器的传感器面中至少一方。其结果是，能够通过传感器稳定地进行驱动状态的检测。

本发明的压电驱动装置的特征在于，具备：压电致动器，具有进行振动的振动部和从所述振动部突出的突出部；被驱动部件，通过伴随着所述振动部的振动的所述被驱动部件与所述突出部的接触，从而所述被驱动部件相对于所述压电致动器相对地改变位置或姿势；光学尺，伴随着所述被驱动部件相对于所述压电致动器的相对的位置或姿势的变化，相对于所述压电致动器或所述被驱动部件相对地改变位置或姿势；传感器，接收来自所述光学尺的透过光或反射光，并输出与所接收到的透过光或反射光的光接收强度对应的信号，所述光学尺与所述传感器对置的对置区域配置为相对于所述突出部与所述被驱动部件接触的接触部向所述光学尺和所述传感器排列的方向上的一侧偏移。