[发明专利]用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘

摘要

本发明旨在解决传统真空镀膜机不能实现在光纤等柱型基片上均匀生长材料的问题，公开了一种用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘，包括一个圆盘状的法兰盘主体，法兰盘主体上有一个放气阀，还包括转动机构、组合夹具机构和掩膜机构，一个电源与转动机构中的电机连接，电机固定在法兰盘主体的上表面上；组合夹具机构用于固定柱型基片的位置，通过电机带动夹具旋转，进而实现柱型基片的匀速旋转，通过旋转旋钮来调节掩模板的位置，选择需要的掩膜，本发明的转动机构可以使柱型基片绕其中心轴旋转，包含多个掩膜的掩膜板可以制备出完整并均匀的器件，并且避免了开仓对器件造成的污染和多次抽真空带来的时间上的浪费。

主权项

1.用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘，包括一个圆盘状的法兰盘主体，法兰盘主体上有一个放气阀通孔，放气阀通孔内设置有一个放气阀(6)，其特征在于，还包括转动机构、组合夹具机构和掩膜机构，一个电源(1)与转动机构中的电机(2)连接，电机(2)通过一个Z型支架固定在法兰盘主体的上表面上；/n转动机构的结构为：一个链轮(3)与电机(2)的输出轴连接，一个链条(4)缠绕在链轮(3)和一个磁力传动装置(5)的输入端上，磁力传动装置(5)固定安装在法兰盘主体的上表面上，磁力传动装置(5)的磁力传动装置输出端(9)穿过法兰盘主体到达法兰盘的下方，磁力传动装置输出端(9)的末端固定安装有一个小齿轮(10)，一个底座(11)固定于法兰盘主体的下表面的中心位置，底座(11)下端安装有一个1号深沟球轴承，大齿轮(12)套装在1号深沟球轴承的外圈上，该大齿轮(12)与磁力传动装置输出端(9)末端的小齿轮(10)啮合，同时大齿轮(12)分别与相对于大齿轮(12)直径对称设置的1号齿轮(13)与2号齿轮(14)啮合，1号齿轮(13)与2号齿轮(14)结构和尺寸相同；/n法兰盘下表面固定有4个长度相同的长圆柱，4个长圆柱的另一端分别固定在一块长方形薄板(15)的4个角上，长方形薄板(15)中心位于大齿轮(12)圆心的正下方，长方形薄板(15)下表面两侧分别固定有与1号齿轮(13)同侧的1号夹具系统和与2号齿轮(14)同侧的2号夹具系统，1号夹具系统和2号夹具系统之间存在间隔，1号夹具系统和2号夹具系统组成组合夹具机构；/n1号夹具系统和2号夹具系统结构相同且同向设置，1号夹具系统和2号夹具系统均包括一个金属外壳(16)和设置在金属外壳(16)内的齿轮系统，金属外壳(16)是一个由两个竖直向下的相同的金属板和一个水平方向的金属板固定连接构成的纵向截面为U型的壳体，金属外壳(16)的纵向开口向上设置，1号夹具系统的金属外壳(16)的中空部和2号夹具系统的金属外壳(16)的中空部在水平方向上贯通，每个金属外壳(16)均固定在长方形薄板(15)的下表面，每个金属外壳(16)内的齿轮系统均包括一个U型固定架(28)，U型固定架(28)的纵向开口向下设置，金属外壳(16)的U型截面与金属外壳(16)内的U型固定架(28)的U型截面相互垂直，每个U型固定架(28)的两个竖直端的中心部位都安装着一个2号深沟球轴承，两个2号深沟球轴承的内圈与一个贯通整个U型固定架(28)水平方向的空心管(29)固定，一个竖直的锥形伞齿轮(30)通过键连接与空心管(29)周向定位、通过螺栓实现与空心管(29)的轴向定位，一个传动杆的一端穿过长方形薄板(15)和U型固定架(28)与一个水平的锥形伞齿轮(31)连接，竖直的锥形伞齿轮(30)与水平的锥形伞齿轮(31)啮合，1号夹具系统的空心管(29)的轴线与2号夹具系统的空心管(29)的轴线位于水平方向的同一条直线上；/n1号夹具系统中的空心管(29)远离法兰盘主体圆心的管口处设置有1号夹具(18)，1号夹具系统中的传动杆的另一端与1号齿轮(13)的轮心固定连接；/n2号夹具系统中的空心管(29)靠近法兰盘主体圆心的管口处设置有一个2号夹具，2号夹具系统中的传动杆的另一端与2号齿轮(14)的轮心固定连接，2号夹具系统中的金属外壳(16)在靠近法兰盘主体圆心一侧的下边缘处固定设置有一个竖直向下的薄铁片(37)；/n柱型基片(32)的一端穿过1号夹具系统中的空心管(29)并通过1号夹具(18)夹持固定，柱型基片(32)另一端伸入2号夹具系统中的空心管(29)并通过2号夹具系统中的空心管(29)的管口处的2号夹具夹持固定，柱型基片(32)的中间段在1号夹具系统和2号夹具系统之间的间隔处露出，该露出部分即为柱形基片(32)的露出段；/n以柱型基片(32)安装在1号夹具系统和2号夹具系统后，柱型基片(32)的轴线在长方形薄板(15)下表面上的投影为长方形薄板(15)下表面中心线，掩膜机构的挡板架(20)通过两个焊接在其两侧的短圆柱固定在长方形薄板(15)下表面中心线的一侧且位于1号夹具系统和2号夹具系统之间，一个凸型挡板(21)水平焊接在挡板架(20)下表面，凸型挡板(21)前部的凸出部分在水平方向上凸出于挡板架(20)并延伸至长方形薄板(15)下表面中心线的另一侧，凸型挡板(21)突出部分的中心区域有一长方形掩膜(33)，长方形掩膜(33)的中心与柱型基片(32)的轴线在同一竖直面上，在凸型挡板(21)前部的凸出部分的上表面设置有一个垂直于凸型挡板(21)凸出部分前端边缘中心的指示线(17)；/n掩膜机构的旋钮(7)位于法兰盘上方，旋钮(7)连接的连动杆(23)穿过法兰盘主体到达法兰盘下方，一个扇形掩膜板(24)的顶点通过螺母固定于连动杆(23)的末端上，使扇形掩膜板(24)垂直于连动杆(23)的轴向并位于凸型挡板(21)的下方，在扇形掩膜板(24)上，以扇形掩膜板(24)的圆心为圆心、以扇形掩膜板(24)半径长度的4/5为半径的圆弧a上，根据实际蒸镀需求的不同依次间隔分布有多个大小和形状均不同的掩膜，每个掩膜的中心线均为圆弧a的切线，两个相同的限位螺丝(22)固定在挡板架(20)上，位于扇形掩膜板(24)半径的两侧，用于限制扇形掩膜板(24)在水平方向逆时针或顺时针转动过程中的极限位置；磁力转动手(8)的输入端固定在法兰盘上表面，磁力转动手(8)内部的磁力连杆(25)的另一端穿过法兰盘主体到达法兰盘主体下方，一个水平方向设置的圆杆(26)的一端固定在磁力连杆(25)的末端，圆杆(26)的另一端焊接一个圆形大挡板(27)，使圆形大挡板(27)垂直于磁力连杆(25)的轴向，柱型基片(32)露出段的一部分位于凸型挡板(21)的上方。/n