[发明专利]多波段高反射柔性波片及其制备方法有效
| 申请号： | 201810247431.6 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN108761616B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 胡敬佩;朱玲琳;张方;曾爱军;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于表面等离子共振的多波段高反射柔性波片及其制备方法，结构包括纳米金属镍光栅基底，其特点在于，在所述的纳米金属镍光栅基底上依次设置第一金属层、介质共振腔层和第二金属层，所述的第一金属层为连续，即基底镍光栅槽被完全填充；所述的共振腔介质层和第二金属层都不连续地分布在所述的基底镍光栅的光栅槽和栅脊位置。本发明波片由传统的双光束曝光工艺结合电铸工艺制备而成，本发明的波片采用传统的工艺大面积制作，在不同的波段可实现二分之一和四分之一波片的功能。具有多波段、高反射和柔性的性能，且不需要刻蚀金属，制作简单，并且该器件可用于柔性显示，可穿戴柔性产品等方面。 | ||
| 搜索关键词： | 波段 反射 柔性 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多波段高反射柔性波片，包括纳米金属镍光栅基底，其特征在于，在所述的纳米金属镍光栅基底上依次设置第一金属层、介质共振腔层和第二金属层，所述的纳米金属镍光栅的周期P为100～400nm,占空比W/P为0.4～0.6，厚度H1为120～180nm；所述的第一金属层为连续，即基底镍光栅槽被完全填充；所述的共振腔介质层和第二金属层都不连续地分布在所述的基底镍光栅的光栅槽和栅脊位置，所述的第一金属层的厚度H2为140～200nm，所述的共振腔介质层的厚度H3为30～80nm，所述的第二金属层的厚度H4为50～80nm。
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