[发明专利]一种快速宏量制备超大尺寸二维材料薄膜的方法及装置有效
| 申请号： | 201810233438.2 | 申请日： | 2018-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN110295357B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 吴慕鸿;张志斌;徐小志;张智宏;俞大鹏;王恩哥;刘开辉 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54;C23C14/06;C23C16/26;C23C16/34;C23C16/30;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 张肖琪 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种快速宏量制备超大尺寸二维材料薄膜的方法及装置，涉及超大尺寸二维材料薄膜的制备方法。所述方法为将金属箔或其他柔性耐高温衬底与柔性耐高温隔层复卷成大卷，放在支架上，并在材料生长腔中同时整体生长的方法，在金属箔或其他柔性耐高温衬底表面快速宏量制备出尺寸大，易裁剪，易加工，成本低的高质量超大尺寸二维材料薄膜。本发明提出的方法及装置，解决了传统方法制备的二维材料薄膜工艺复杂、设备昂贵，以及所制备二维材料薄膜尺寸受限、质量不高导致性能大大降低，卷对卷制备方法生长效率较低，且所需设备复杂成本较高，无法满足大规模应用的需要等技术问题，通过非常简单的方法，实现了快速宏量制备高质量超大尺寸二维材料薄膜样品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 宏量 制备 超大 尺寸 二维 材料 薄膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种快速宏量制备超大尺寸二维材料薄膜的方法，其特征在于，将柔性耐高温衬底与柔性耐高温隔层复卷成大卷，放在支架上，并在材料生长腔中同时整体生长，在耐高温衬底表面快速宏量制备出高质量超大尺寸二维材料薄膜。
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