[发明专利]溅射靶及其制造方法有效
| 申请号： | 201810231854.9 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN108624850B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 长田幸三;鹤田好孝;馆野谕 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供即使衬管沿轴线方向弯曲变形，也能确保与靶材之间的接合材料的所需厚度并使品质提高的溅射靶及其制造方法。溅射靶(1)包括：具有由陶瓷材料构成的沿轴线方向以0.15mm～0.50mm的间隔排列配置的多个圆筒状靶块(2a)的靶材(2)；设在靶材(2)内周侧的圆筒状衬管(3)；介于靶材(2)和衬管(3)之间并用于接合它们的接合材料，沿径向测量时，在沿轴线方向相邻的至少一对靶块的各自外周面中彼此相邻的轴线方向的外缘之间的高低差量为0.50mm以下，至少一个靶块(2a)内的轴线方向的至少一部分接合材料的厚度沿轴线方向变化，至少一个靶块(2a)的接合材料的最小厚度为0.6mm以上且1.4mm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶，具备：靶材，其具有由陶瓷材料构成的、并且沿轴线方向以0.15mm～0.50mm的间隔进行排列配置的多个圆筒状的靶块；圆筒状的衬管，其配置在所述靶材的内周侧；以及接合材料，其介于靶材和衬管之间，并且对这些靶材和衬管进行接合，沿径向测量时，在沿轴线方向相邻的至少一对靶块的各自外周面中的彼此相邻的轴线方向的外缘之间的高低差量为0.50mm以下，在至少一个靶块内的轴线方向的至少一部分中接合材料的厚度沿轴线方向发生变化，至少一个靶块的接合材料的最小厚度为0.6mm以上且1.4mm以下。
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