[发明专利]一种抛光机有效
申请号: | 201810223241.0 | 申请日: | 2018-03-16 |
公开(公告)号: | CN108161702B | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 侯晶;李洁;廖德锋;陈贤华;谢瑞清;钟波;王健;许乔 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/12 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 符莹莹 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种抛光机,属于抛光设备领域。抛光机包括机架、抛光盘、第一驱动装置、第一放置盘、第一保持架和第二驱动装置。抛光盘可转动的设置于机架。第一驱动装置用于驱动抛光盘相对机架绕第一竖轴线转动。第一放置盘上设有用于放置晶体的第一放置孔,第一放置盘放置于抛光盘上。第一保持架可转动的设置于机架,保持架将第一放置盘保持在抛光盘上。第二驱动装置用于驱动第一保持架相对机架绕第二竖轴线转动,以改变第一放置盘的自转轴线与第一竖轴线的距离。这种抛光机既可对晶体进行粗抛光,又可对晶体进行精抛光。 | ||
搜索关键词: | 放置盘 抛光盘 保持架 抛光机 竖轴线 第二驱动装置 第一驱动装置 可转动 转动 驱动 抛光设备 自转轴线 粗抛光 放置孔 晶体的 精抛光 | ||
【主权项】:
1.一种抛光机,其特征在于,包括:机架;抛光盘,所述抛光盘可转动的设置于所述机架;第一驱动装置,所述第一驱动装置用于驱动所述抛光盘相对所述机架绕第一竖轴线转动;第一放置盘,所述第一放置盘上设有用于放置晶体的第一放置孔,所述第一放置盘放置于所述抛光盘上;第一保持架,所述第一保持架可转动的设置于所述机架,所述保持架将所述第一放置盘保持在所述抛光盘上;第二驱动装置,所述第二驱动装置用于驱动所述第一保持架相对所述机架绕第二竖轴线转动,以改变所述第一放置盘的自转轴线与第一竖轴线的距离;所述第一保持架包括架本体、第一保持体、第二保持体和弹性机构;所述架本体与所述机架转动连接,所述第一保持体与所述第二保持体均与所述架本体铰接,所述第一保持体与所述第二保持体通过所述弹性机构连接,所述弹性机构具有阻止所述第一保持体与所述第二保持体相互远离的趋势,所述第一放置盘被保持于所述第一保持体与所述第二保持体之间。
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