[发明专利]UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构有效
| 申请号： | 201810206985.1 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108760867B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 杨永 | 申请（专利权）人： | 上海科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;B01J3/04 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;柏子雵 |
| 地址： | 200120 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构，其特征在于，不锈钢毛细管道的一端与原位反应池排气管道相连，另一端为采样口，采样气体出采样口分为两路，一路通过低流量控制比阀进入真空中转腔体，另一路通过高流量控制比阀进入质谱电四极杆。本发明做到了质谱电四极杆在对互联的原位反应池进行气体采样成分分析时其采样时间延迟可忽略，达到了原位分析连续、实时和高时间分辨率的采样分析要求。 | ||
| 搜索关键词： | uhv 设备 原位 反应 内置 质谱电四极杆 联用 结构 | ||
【主权项】：
1.一种UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构，包括独立原位反应池(1)，独立原位反应池(1)上连接有原位反应池排气管道(9)，独立原位反应池(1)与配置有真空中转腔体(2)相联通，样品通过真空联通传递装置转移到超高真空表征设备的样品舱(5)，真空中转腔体(2)与样品舱(5)之间由闸板阀一(6)隔断，样品舱(5)与质谱电四极杆(7)联通，并配置有分子泵机械泵泵组二(8)，其特征在于，不锈钢毛细管道(14)的一端与原位反应池排气管道(9)相连，另一端为采样口，采样气体出采样口分为两路，一路通过低流量控制比阀进入真空中转腔体(2)，另一路通过高流量控制比阀进入质谱电四极杆(7)。
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