[发明专利]UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构

权利要求书

1.一种UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构，包括独立原位反应池(1)，独立原位反应池(1)上连接有原位反应池排气管道(9)，独立原位反应池(1)与配置有真空中转腔体(2)相联通，样品通过真空联通传递装置转移到超高真空表征设备的样品舱(5)，真空中转腔体(2)与样品舱(5)之间由闸板阀一(6)隔断，样品舱(5)与质谱电四极杆(7)联通，并配置有分子泵机械泵泵组二(8)，其特征在于，不锈钢毛细管道(14)的一端与原位反应池排气管道(9)相连，另一端为采样口，采样气体出采样口分为两路，一路通过低流量控制比阀进入真空中转腔体(2)，另一路通过高流量控制比阀进入质谱电四极杆(7)。

2.如权利要求1所述的一种UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构，其特征在于，所述真空中转腔体(2)与所述独立原位反应池(1)之间连接有带样品转移观察窗的法兰；

当所述真空中转腔体(2)有闲置法兰口时，将该闲置法兰口改为卡套管转接法兰(13)；当所述真空中转腔体(2)无闲置法兰口时，所述真空中转腔体(2)采用三通法兰二，样品转移观察窗设于该三通法兰二的直通方向，三通法兰二的非直通方向的法兰口为闲置法兰口，将该闲置法兰口改为卡套管转接法兰(13)；

一路采样气体通过低流量控制比阀经由卡套管转接法兰(13)进入所述真空中转腔体(2)。

3.如权利要求1所述的一种UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构，其特征在于，所述低流量控制比阀采用阀帽针阀(16)。

4.如权利要求1所述的一种UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构，其特征在于，所述高流量控制比阀采用计量针阀(17)。

5.如权利要求2所述的一种UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构，其特征在于，所述不锈钢毛细管道(14)的采样口与保护球阀(15)相连。

6.如权利要求5所述的一种UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构，其特征在于，还包括三通法兰一(12)，三通法兰一(12)的三个法兰口分别与所述样品舱(5)、所述质谱电四极杆(7)及所述高流量控制比阀相连。

7.如权利要求6所述的一种UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构，其特征在于，所述三通法兰一(12)的一个法兰口与所述高流量控制比阀相连之间由闸板阀二(18)隔断。

8.如权利要求7所述的一种UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构，其特征在于，所述卡套管转接法兰(13)、不锈钢毛细管道(14)、保护球阀(15)、低流量控制比阀、高流量控制比阀、闸板阀二(18)全部互相联通形成一个安装模块。

9.如权利要求1所述的一种UHV设备互联的原位反应池与内置质谱电四极杆的联用结构，其特征在于，所述不锈钢毛细管(14)从原位反应池排气管道(9)采样后直接通过转接放大为1/4英寸或更大外径的不锈钢管路。