[发明专利]一种高纯亚纳米级球形硅微粉的制备方法有效
| 申请号： | 201810190971.5 | 申请日： | 2018-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN108423686B | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 杨建清;张卫良 | 申请（专利权）人： | 苏州硅纳电子基材有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/18 | 分类号： | C01B33/18 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 项丽 |
| 地址： | 215555 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高纯亚纳米级球形硅微粉的制备方法，它包括以下步骤：(a)将硅粉加热至熔融状态形成硅液；(b)将氧气加热至≥1000℃且加压至0.3～1MPa；(c)将所述硅液和所述氧气送入球化反应器的腔内，使其对撞并调整旋转产生爆燃；随后通过引流装置导入骤冷器中进行冷却形成微粒即可。通过对氧气进行加热加压并与熔融的硅液进行对撞，再通过气流的高速旋转，从而让高压氧把球化反应腔内的硅液高速高压下均匀粉碎，并使得硅、氧混合产生爆燃，随后被迅速冷却而在表面张力的作用下自动收缩成为球形，并有效去除有害杂质而提高硅微粉的纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 纳米 球形 硅微粉 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高纯亚纳米级球形硅微粉的制备方法，其特征在于，它包括以下步骤：(a)将硅块粉碎后加热至熔融状态形成硅液；(b)将氧气加热至≥1000℃且加压至0.3～1MPa；(c)将所述硅液和所述氧气送入球化反应腔内，使其对撞并在高速旋转时产生爆燃；随后用引流装置导入骤冷器中进行冷却形成微粒即可。
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