[发明专利]一种高纯亚纳米级球形硅微粉的制备方法有效
| 申请号： | 201810190971.5 | 申请日： | 2018-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN108423686B | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 杨建清;张卫良 | 申请（专利权）人： | 苏州硅纳电子基材有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/18 | 分类号： | C01B33/18 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 项丽 |
| 地址： | 215555 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 纳米 球形 硅微粉 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高纯亚纳米级球形硅微粉的制备方法，其特征在于，它包括以下步骤：
（a）将硅块粉碎成硅粉后加热至熔融状态形成硅液；所述硅粉目数为30~500目；所述加热温度为1680~1800℃；
（b）将氧气加热至≥1000℃且加压至0.3~1MPa；
（c）将所述硅液和所述氧气送入球化反应腔内，使其对撞并在高速旋转时产生爆燃；随后用引流装置导入骤冷器中进行冷却形成微粒即可；所述硅液和所述氧气的摩尔比为1：2.5~5。
2.根据权利要求1所述的高纯亚纳米级球形硅微粉的制备方法，其特征在于：步骤（c）中，用布袋、旋风分离器或静电积尘收集球形微粒。
3.根据权利要求1所述的高纯亚纳米级球形硅微粉的制备方法，其特征在于，它还包括（d）使用激光粒度仪对步骤（c）中所得微粒的粒径分布进行测试，并使用电子显微镜对其形貌进行检测。
4.根据权利要求3所述的高纯亚纳米级球形硅微粉的制备方法，其特征在于，它还包括（e）对步骤（d）中检测合格的微粒进行包装。
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