[发明专利]真空阀系统

摘要

本申请涉及真空阀系统，该真空阀系统包括真空阀，该真空阀具有阀座和阀封闭件，该阀封闭件用于按大致气密方式关闭阀开口。设置有至少两个密封面，该至少两个密封面中的第一密封面由阀座提供且绕阀开口延伸，且第二密封面由阀封闭件提供且与第一密封面相对地形成。还设置有联接至阀封闭件的驱动单元，该驱动单元被设计为使得阀封闭件可以按限定的方式进行改变和调节，以提供相应阀打开状态，且可以从打开位置移动到关闭位置并返回，在打开位置，阀封闭件至少部分地释放阀开口，在关闭位置，第二密封面沿第一密封面的方向压紧并且阀开口按大致气密方式关闭。该真空阀系统具有光学传感器单元，该光学传感器单元被设计成检测光学测量信号，且按这样的方式布置，并且所述光学传感器单元的光学检测轴取向为可以检测关于密封面中的一个的至少一部分的测量信号，该测量信号可以在阀封闭件的测试位置生成。

主权项

1.一种真空阀系统，该真空阀系统包括真空阀(40、40'、40"、40"′)，所述真空阀(40、40'、40"、40"′)用于控制体积流或质量流和/或用于气密密封处理容积，其中，所述真空阀(40、40'、40"、40"′)具有●阀座，所述阀座绕限定开口轴(14)的阀开口(12、42)延伸，●阀封闭件(13、41)，尤其是阀盘，所述阀封闭件(13、41)用于按大致气密方式关闭所述阀开口(12、42)，以及●至少两个密封面(15、18、45、48)，其中，□所述至少两个密封面中的第一密封面(15、45)由所述阀座提供并且绕所述阀开口(12、42)延伸，并且□所述至少两个密封面中的第二密封面(18、48)由所述阀封闭件(13、41)提供并且与所述第一密封面(15、45)相对应地形成，●驱动单元(16)，所述驱动单元(16)被联接至所述阀封闭件(13、41)，所述驱动单元按这样的方式来设计，即，所述阀封闭件(13、41)□能够按限定的方式进行改变和调节，以便提供相应阀打开状态，并且□能够从打开位置(O)移动到关闭位置并返回，在所述打开位置，所述阀封闭件(13、41)至少部分地释放所述阀开口(12、42)，而在所述关闭位置，所述第二密封面(18、48)沿所述第一密封面(15、45)的方向压紧并且所述阀开口(12、42)按大致气密方式关闭，其特征在于，所述真空阀系统具有光学传感器单元(20、30、50、60、70、80)，其中，所述光学传感器单元(20、30、50、60、70、80)●被设计成检测光学测量信号，并且●按这样的方式布置，并且所述光学传感器单元(20、30、50、60、70、80)的光学检测轴按这样方式取向，即，能够检测关于所述密封面(15、18、45、48)中的一个的至少一部分的所述测量信号，其中，所述测量信号能够在所述阀封闭件(13、41)的测试位置生成。