[发明专利]磁控溅射卷绕镀膜机

摘要

本发明涉及一种磁控溅射卷绕镀膜机，配合轨道车使用，其包括：真空箱、安装于真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于真空箱外的若干抽气装置。卷绕装置包括滑动安装于真空箱上的支撑框架、安装于支撑框架上的放卷辊、第一张力测量辊、第二张力测量辊、跟踪机构、收卷辊、若干导向辊及展平辊，第一张力测量辊与放卷辊相对设置，第二张力测量辊位于跟踪机构的一侧，收卷辊位于跟踪机构的另一侧。镀膜装置包括主框体、局部位于主框体内的镀膜鼓、设于主框体内且与镀膜鼓相对设置的若干镀膜腔室、夹设于相邻镀膜腔室之间的若干隔离组件、安装于镀膜腔室内的溅射靶。该磁控溅射卷绕镀膜机的空间占用小、镀膜质量高、便于使用及维护。 1

主权项

1.一种磁控溅射卷绕镀膜机，配合轨道车使用，其特征在于，所述磁控溅射卷绕镀膜机包括：真空箱、安装于所述真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于所述真空箱外的若干抽气装置；所述卷绕装置包括滑动安装于所述真空箱上的支撑框架、安装于所述支撑框架上的放卷辊、第一张力测量辊、第二张力测量辊、跟踪机构、收卷辊、若干导向辊及展平辊，所述第一张力测量辊与所述放卷辊相对设置，所述第二张力测量辊位于所述跟踪机构的一侧，所述收卷辊位于所述跟踪机构的另一侧；所述镀膜装置包括主框体、局部位于所述主框体内的镀膜鼓、设于所述主框体内且与所述镀膜鼓相对设置的若干镀膜腔室、夹设于相邻所述镀膜腔室之间的若干隔离组件、安装于所述镀膜腔室内的溅射靶。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述卷绕装置位于所述镀膜装置的上方，两个所述镀膜装置并排设置。

3.根据权利要求2所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述主框体之间形成中央抽气通道。

4.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述卷绕装置还包括安装于所述支撑框架上的在线监测组件及辅助动力辊，所述在线监测组件位于所述第二张力测量辊远离所述跟踪机构的一侧，所述辅助动力辊位于所述在线监测组件的远离所述第二张力测量辊的一侧。

5.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述真空箱的内壁上设有若干吊梁轨道及第一低温盘管，所述吊梁轨道与所述支撑框架连接。

6.根据权利要求5所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述支撑框架包括滑动安装于所述吊梁轨道上的墙板、安装于所述轨道车上的门板、两端分别与所述墙板、门板连接的第一支撑梁及第二支撑梁。

7.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述镀膜腔室内安装有第二低温盘管。

8.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述隔离组件包括两块第一隔离板、倾斜安装于所述第一隔离板上的第二隔离板、夹设于相邻所述第二隔离板上的中间柱，相邻所述第二隔离板呈锥形设置。

9.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述抽气装置与所述真空箱、镀膜腔室一一对应连通。

10.根据权利要求9所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述抽气装置包括分子泵、与所述分子泵连接的管道、安装于所述管道上的阀门。