[发明专利]磁控溅射卷绕镀膜机

说明书

本发明涉及一种磁控溅射卷绕镀膜机，配合轨道车使用，其包括：真空箱、安装于真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于真空箱外的若干抽气装置。卷绕装置包括滑动安装于真空箱上的支撑框架、安装于支撑框架上的放卷辊、第一张力测量辊、第二张力测量辊、跟踪机构、收卷辊、若干导向辊及展平辊，第一张力测量辊与放卷辊相对设置，第二张力测量辊位于跟踪机构的一侧，收卷辊位于跟踪机构的另一侧。镀膜装置包括主框体、局部位于主框体内的镀膜鼓、设于主框体内且与镀膜鼓相对设置的若干镀膜腔室、夹设于相邻镀膜腔室之间的若干隔离组件、安装于镀膜腔室内的溅射靶。该磁控溅射卷绕镀膜机的空间占用小、镀膜质量高、便于使用及维护。

技术领域

本发明涉及柔性卷绕真空镀膜设备领域，特别是涉及一种磁控溅射卷绕镀膜机。

背景技术

磁控溅射是真空镀膜的重要方法之一，其具有膜层控制精度高，镀膜均匀性好，成膜温度低等优点，尤其适用受温升限制的金属产品和非金属如塑料、纸张等产品的表面改性镀膜。磁控溅射卷绕镀膜是采用磁控溅射镀膜工艺，以卷对卷的生产方式，对柔性基材如纸张、PET、PI、BOPP等材料进行表面改性的镀膜方法，其制造的产品涉及光学、电子学、电磁学等多个领域，现有产品如建筑及汽车窗膜、防伪包装膜、电磁屏蔽膜、透明导电膜等已经得到广泛的应用。

进年来随着产品和技术的进步，柔性基材表面镀膜的膜系结构更加复杂，要求磁控溅射卷绕设备需要配置更多的溅射靶来满足复杂膜系工艺的需求。溅射靶一般布置在镀膜鼓的周围。通常一个镀膜鼓配置溅射靶位在六个以下，更多的溅射靶就需要镀膜机配置二个镀膜鼓。现有磁控溅射卷绕镀膜机的设计通常采用多真空室单元的串联方式。如装有放卷基材的真空室为放卷室单元，装有镀膜鼓及周围布置溅射靶的为镀膜室单元，装有收卷基材的为收卷室单元。如双镀膜鼓的磁控溅射卷绕镀膜机由放卷室单元、第一镀膜室单元、第二镀膜室单元和收卷室单元组成，上述四个单元之间通过矩形管道依次连接。采用真空室单元的串联方式的磁控溅射卷绕镀膜机设备占地面积大，对设备场地基础要求高。由于柔性基材不同于钢带、玻璃等硬质材料，设备安装后各单元室之间的位置偏差，容易出现卷绕系统运行路径平行度变差，基材容易出现变形起皱的问题。同时采用真空室单元串联方式的设计，磁控溅射卷绕镀膜机的卷绕系统同样被分为多个单元模块，安置于各个真空室单元中。使得基材走膜路径变复杂，基材牵引和卷绕系统各部件的检修维护难度增加。

发明内容

基于此，有必要针对磁控溅射卷绕镀膜机问题，提供一种空间占用小、镀膜质量高、便于使用及维护的磁控溅射卷绕镀膜机。

一种磁控溅射卷绕镀膜机，配合轨道车使用，所述磁控溅射卷绕镀膜机包括：真空箱、安装于所述真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于所述真空箱外的若干抽气装置；所述卷绕装置包括滑动安装于所述真空箱上的支撑框架、安装于所述支撑框架上的放卷辊、第一张力测量辊、第二张力测量辊、跟踪机构、收卷辊、若干导向辊及展平辊，所述第一张力测量辊与所述放卷辊相对设置，所述第二张力测量辊位于所述跟踪机构的一侧，所述收卷辊位于所述跟踪机构的另一侧；所述镀膜装置包括主框体、局部位于所述主框体内的镀膜鼓、设于所述主框体内且与所述镀膜鼓相对设置的若干镀膜腔室、夹设于相邻所述镀膜腔室之间的若干隔离组件、安装于所述镀膜腔室内的溅射靶。

上述磁控溅射卷绕镀膜机，包括真空箱、安装于真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于真空箱外的若干抽气装置，使用时卷绕装置配合轨道车使用。由于真空箱一体构成，八边形真空箱的上部采用大的斜边结构设计，有效增加真空箱的顶部承压能力，同时也有效减少真空箱的容积，空间占用小且便于抽真空。由于镀膜装置上设有若干镀膜腔室，每个镀膜腔室相对独立，便于每个溅射靶进行良好的镀膜，隔离组件使相邻镀膜腔室实现隔离，使的每组溅射都能互不干扰进行，避免气体相互干扰影响镀膜质量，镀膜质量高。通过第一张力测量辊、第二张力测量辊及跟踪机构的设置，可以保证柔性基材的输送的稳定性，及时调整，保证镀膜的质量。由于卷绕装置和两个镀膜装置都位于真空箱内，使柔性基材的走膜路径更加简便，从而便于各个部件的排布安装，便于使用和维护。