[发明专利]带电粒子显微镜的像差测量

摘要

一种操作带电粒子显微镜的方法，包括以下步骤：‑在样品夹上设置样品；‑使用源来产生带电粒子束；‑将所述光束通过照明器，照明器包括：源透镜，其具有相关的粒子光轴；聚光镜光圈，其设置在源透镜和样品之间并且被配置为限定所述光束在样品上的覆盖区；‑采用从照明器出射的光束照射样品；‑使用探测器检测响应于所述照射而从样品发出的辐射，并且产生相关的图像；尤其包括如下步骤：‑从所述源中选择一组发射角；‑对于所述组中的每个发射角，选择以该发射角从源发射的对应子光束，并且存储由该子光束形成的测试图像，从而收集对应于该组发射角的一组测试图像；‑分析该组测试图像以评估在所述聚光镜光圈之前生成的照明器像差。

主权项

1.一种操作带电粒子显微镜的方法，包括以下步骤：在样品夹上设置样品；使用源产生带电粒子束；使所述带电粒子束穿过照明器，所述照明器包括：源透镜，其具有相关的粒子光轴；聚光镜光圈，其设置在源透镜和样品之间并且被配置为限定所述光束在样品上的覆盖区；采用从所述照明器出射的光束照射样品；响应于所述照射，引导从所述样品发出的辐射；并且产生相关图像，其特征在于：从所述源中选择一组发射角；选择一组相应子光束，每个子光束以该组发射角中的一发射角从所述源发射；存储由该组相应子光束中的每个子光束形成的测试图像，从而收集一组测试图像，每个测试图像对应该组发射角中的一发射角；以及通过分析该组测试图像确定在所述聚光镜光圈之前生成的照明器像差。