[发明专利]一种基于MEMS的声压、气流传感器有效
| 申请号： | 201810171079.2 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN108426632B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 李威;余洪斌;冯楚桓;张欣峰;范甜甜;邵建;朱业锦;李琦 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学;深圳华中科技大学研究院 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G01P5/26 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 廖盈春;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS的声压、气流传感器，包括：悬臂梁、波导以及光纤导槽，上述结构的加工均是基于MEMS技术，其中波导结构位于悬臂梁结构的表面，光纤导槽结构位于悬臂梁结构的两侧并与波导结构存在匹配关系。通过本发明利用悬臂梁结构将声压或气流的强弱转化为该悬臂梁结构不同程度的形变，光纤导槽结构用于固定光纤，悬臂梁结构不同程度的形变导致光纤与波导结构不同程度的耦合失配，耦合失配通过输出、输入光能比测出，通过耦合失配间接检测气压或气流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 声压 气流 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS的声压、气流传感器，包括：悬臂梁、波导以及光纤导槽；所述波导位于所述悬臂梁的表面，所述光纤导槽位于所述悬臂梁的两侧，其用于放置光纤；所述光纤导槽的宽度与所使用光纤的外径相同，所述光纤导槽的深度由所使用光纤的外径以及所述波导的目标位置确定，其中，所述波导的目标位置应满足在波导形变为0时，在所使用光纤的中心位于所述波导下表面上方目标距离时，所述波导与所使用的光纤形成的能量耦合比随所述波导形变的变化率最大。
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