[发明专利]光电转换设备和装置

摘要

本发明公开了光电转换设备和装置。提供一种光电转换设备，其中，从主表面到介电膜的第一部分的内表面的距离小于从主表面到光遮蔽部件的顶表面的距离，从主表面到第一部分的外表面的距离小于从主表面到介电膜的第二部分的外表面的距离，第三部分的外表面向顶表面倾斜，介电部件的表面在法线方向上在介电膜与顶表面之间向顶表面倾斜，并且介电部件具有比介电膜的折射率低的折射率。

主权项

1.一种光电转换设备，包括：基板，所述基板包括多个光电转换部分沿着主表面被布置的光电转换区域；膜，所述膜设置在所述光电转换区域上，并且包括基板一侧的内表面和与所述基板一侧相对的一侧的外表面；第一部件，所述第一部件设置在所述膜与光电转换区域之间，包括位于所述基板一侧的底表面、位于与所述基板一侧相对的一侧的顶表面、以及连接所述底表面和顶表面的侧表面，并且包括光遮蔽体；第二部件，所述第二部件至少设置在所述膜与顶表面之间；以及滤色器，其中，从所述主表面到顶表面的距离小于从所述主表面到滤色器的距离，其中，所述膜包括第一部分、第二部分以及第三部分，所述第一部分在所述基板的主表面的法线方向上与所述光电转换部分中的每一个的至少一部分重叠，所述第二部分在所述法线方向上与所述顶表面重叠，并且所述第三部分位于所述第一部分与第二部分之间，其中，从所述主表面到第一部分处的内表面的距离小于从所述主表面到顶表面的距离，从所述主表面到第一部分处的外表面的距离小于从所述主表面到第二部分处的外表面的距离，并且所述第三部分处的外表面向所述顶表面倾斜，其中，所述第二部件的所述膜一侧的前表面在所述法线方向上在所述膜与顶表面之间向所述顶表面倾斜，并且其中，以下的(A)和(B)中的一个或两个被满足，(A)所述第二部件具有比所述膜的折射率低的折射率，和(B)所述膜和第二部件各自包括硅化合物，并且与所述膜相比，所述第二部件包括较低的氮浓度和/或较高的氧浓度。