[发明专利]单边下片机

摘要

本发明公开了一种单边下片机，其包括硅片传输机构、检测机构和送片机构，所述硅片传输机构包括呈矩阵设置的第一传送件，位于第一排的所述第一传送件呈横向传输设置，其余排的所述第一传送件呈纵向传输设置，呈纵向传输设置的最后一排的第一传送件对接上一工位传输出的硅片，所述第一传送件上设置有识别单元，对应所述识别单元还设置有一回收盒；所述检测机构与所述硅片传输机构对接，所述硅片传输机构选择性的传输硅片于所述检测机构中；所述送片机构具有第二传送件，所述第二传送件分别与一载具和所述硅片传输机构对接。综上，本发明的单边下片机能够为工作人员提供调试空间并实现硅片的下片和检测全自动，且提高工作效率。

主权项

1.一种单边下片机，适用于对上一工位的硅片进行传输和抽样检测，其特征在于：所述单边下片机包括：硅片传输机构，所述硅片传输机构包括呈矩阵设置的第一传送件，位于第一排的所述第一传送件呈横向传输设置，其余排的所述第一传送件呈纵向传输设置，呈纵向传输设置的最后一排的所述第一传送件对接上一工位传输出的硅片，所述硅片传输机构的第一传送件上设置有用于检测硅片完整情况的识别单元，对应所述识别单元还设置一与所述第一传送件对接的回收盒；检测机构，所述检测机构与所述硅片传输机构对接，所述硅片传输机构选择性的传输硅片于所述检测机构中；送片机构，所述送片机构具有可伸缩的第二传送件，所述第二传送件两端分别对应与一载具和所述硅片传输机构对接，所述第二传送件伸入所述载具内将所述硅片传输机构上的硅片逐一存入所述载具。