[发明专利]一种利用激光对硅棒进行打码标识的方法及设备有效

专利信息
申请号: 201810163220.4 申请日: 2018-02-26
公开(公告)号: CN108526696B 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 侯贵朝;范醉风;洪剑锋;向军;刘强;王艺;吴烈;陈克胜;高云峰 申请(专利权)人: 大族激光科技产业集团股份有限公司
主分类号: B41J2/435 分类号: B41J2/435;B23K26/362;B23K26/06;B23K26/064;B23K26/08
代理公司: 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 代理人: 陈琳
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种利用激光对硅棒进行打码标识的方法及设备,所述设备包括:标记系统,用于设置打标参数,并将硅棒数字编码生成刻线编码;激光器,用于提供激光光束;电气控制部,用于控制激光光束的输出方式;准直镜,用于将激光器发出的激光光束准直成平行激光光束;扩束镜,反向安装,用于缩小准直后的平行激光光束,增大激光光斑;光学聚焦镜,用于将经反向安装的所述扩束镜缩小后的激光光束,均匀聚焦至待打码的硅棒表面;以及工作平台,用于带动硅棒移动进行激光光束定位,对硅棒进行打码标识。本发明可以实现硅片独立编码,能够有效提高编码效率和减少污染,极大地拓展了激光加工的应用领域和范围。
搜索关键词: 一种 利用 激光 进行 标识 方法 设备
【主权项】:
1.一种利用激光对硅棒进行打码标识的设备,其特征在于,包括:标记系统,用于设置打标参数,并将硅棒数字编码生成刻线编码;激光器,用于提供激光光束;电气控制部,用于控制激光光束的输出方式;准直镜,用于将激光器发出的激光光束准直成平行激光光束;扩束镜,反向安装,用于缩小准直后的平行激光光束,增大激光光斑;光学聚焦镜,用于将经反向安装的所述扩束镜缩小后的激光光束,均匀聚焦至待打码的硅棒表面;以及工作平台,用于带动硅棒移动进行激光光束定位,对硅棒进行打码标识。
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