[发明专利]一种表面增强拉曼衬底及其制备方法有效
| 申请号： | 201810156824.6 | 申请日： | 2018-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN108375567B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 陈佩佩;田毅;闫兰琴;褚卫国 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;B82Y15/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种表面增强拉曼衬底及其制备方法。所述拉曼衬底包括纳米网状结构和位于所述纳米网状结构上的纳米球状结构形成的复合结构，以及位于复合结构表面的金属颗粒。所述拉曼衬底的制备方法包括以下步骤：(1)将正性电子束抗蚀剂和负性电子束抗蚀剂混合，得到混合电子束抗蚀剂，将所述混合电子束抗蚀剂涂覆在基底上，得到涂覆后的基底；(2)在涂覆后的基底上形成纳米阵列图案，显影得到纳米结构，在所述纳米结构上沉积金属，得到所述拉曼衬底。本发明提供的表面增强拉曼衬底具有优异的表面增强拉曼效应和极佳的检测灵敏度，可显著提升拉曼测试结果的均一性和可重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 增强 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种拉曼衬底，其特征在于，所述拉曼衬底包括纳米网状结构和位于所述纳米网状结构上的纳米球状结构形成的复合结构，以及位于复合结构表面的金属颗粒。
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