[发明专利]一种开环微加速度计有效
| 申请号： | 201810137325.2 | 申请日： | 2018-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN108362910B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 谢国芬;唐彬;曲兵兵;刘显学;许蔚;莫与明 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 11569 北京高沃律师事务所 | 代理人： | 王戈 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种开环微加速度计。该开环微加速度计的敏感结构等效电路包括上极板、下极板、可动机构和校正电容，上极板通过第一开关与电源正极相连并通过第二开关与负反馈网络连接；下极板通过第三开关与电源负极相连并通过第四开关与负反馈网络连接；校正电容的两个电容补偿阵列串联，第一电容补偿阵列的上极板通过第五开关与负反馈网络连接并通过第六开关与电源正极相连；第二电容补偿阵列的下极板通过第七开关与负反馈网络连接并通过第八开关与电源负极相连。本发明通过改变校正电容与敏感结构和后续处理电路的连接关系，可以省去输出前数字化非线性拟合补偿环节，降低硬件开销，同时避免生产时需要非线性校正导致效率低和成本高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 负反馈网络 微加速度计 电容补偿 电容 上极板 下极板 开环 校正 电源负极 电源正极 敏感结构 后续处理电路 非线性拟合 非线性校正 补偿环节 等效电路 第一开关 可动机构 连接关系 硬件开销 串联 数字化 输出 生产 | ||
【主权项】：
1.一种开环微加速度计，其特征在于，所述开环微加速度计包括：敏感结构等效电路、多个模拟开关、电荷放大器、电荷输运电路、电荷积分器和负反馈网路；/n所述敏感结构等效电路包括上极板、下极板、可动机构和校正电容，所述可动机构位于所述上极板与所述下极板之间；所述上极板与所述可动机构形成第三电容，所述上极板通过第一模拟开关与电源正极相连并通过第二模拟开关与所述负反馈网络连接；所述可动机构与所述下极板形成第四电容，所述下极板通过第三模拟开关与电源负极相连并通过第四模拟开关与所述负反馈网络连接；/n所述校正电容包括第一电容补偿阵列、第二电容补偿阵列；所述第一电容补偿阵列与所述第二电容补偿阵列串联，所述第一电容补偿阵列的下极板与所述第二电容补偿阵列的上极板连接；所述第一电容补偿阵列的上极板通过第五模拟开关与所述负反馈网络连接并通过第六模拟开关与所述电源正极相连；所述第二电容补偿阵列的下极板通过第七模拟开关与所述负反馈网络连接并通过第八模拟开关与所述电源负极相连；所述第三电容产生的杂散电容C
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