[发明专利]涂布装置在审
| 申请号： | 201810126319.7 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108333885A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陈叶凯 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G02F1/13 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请涉及液晶面板制造领域，一种涂布装置，装配于显影机中对基板涂布显影液。所述涂布装置包括控制单元、传动轮、位置传感器和显影液刀。所述控制单元根据所述位置传感器的反馈信号控制所述传动轮将所述基板沿第一方向传送到所述显影机的喷涂位置后，所述传动轮停止传送动作，所述显影液刀相对所述基板运动并将显影液涂布于所述基板的表面。本申请所述涂布装置在基板静止状态下进行涂布工作，可以避免显影液随基板运动而前后扩散，造成前后显影液浓度差异大，使得最终成品出现线宽不一致的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布装置 传动轮 显影液 位置传感器 基板运动 显影机 基板 显影液浓度差异 液晶面板制造 涂布显影液 显影液涂布 反馈信号 静止状态 喷涂位置 停止传送 最终成品 不一致 对基板 基板沿 线宽 申请 装配 扩散 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，装配于显影机中对基板涂布显影液，其特征在于，包括控制单元、传动轮、位置传感器和显影液刀，所述基板位于所述传动轮和所述显影液刀之间，所述控制单元根据所述位置传感器的反馈信号控制所述传动轮将所述基板沿第一方向传送到所述显影机的喷涂位置后，所述传动轮停止传送动作，所述显影液刀相对所述基板运动并将显影液涂布于所述基板的表面。
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