[发明专利]一种树脂增透膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201810124666.6 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN108318944A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 王军 | 申请（专利权）人： | 无锡奥芬光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/32 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷红梅;任月娜 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种树脂增透膜及其制备方法，从下至上包括基板以及复合层，复合层为相互交替层叠的Ti3O5层与SiAl层组成，Ti3O5层的厚度为10~400 nm，SiAl层的厚度为10~400 nm，将基板置于含离子源的镀膜机的真空室中依次进行复合层中各层材料的镀膜并对各层材料进行蒸发得到树脂增透膜。本发明制备方法简单，步骤易于操作，采用Ti3O5和SiAl为镀膜原料，交替层叠在树脂基板上制备增透膜，各膜层致密度高，各膜层间的应力相匹配、附着力强。 | ||
| 搜索关键词： | 增透膜 制备 复合层 树脂 交替层叠 基板 膜层 镀膜原料 附着力强 树脂基板 镀膜机 离子源 真空室 镀膜 匹配 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种树脂增透膜，其特征在于：包括若干层相互交替层叠的Ti3O5层与SiAl层。
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