[发明专利]一种树脂增透膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201810124666.6 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN108318944A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 王军 | 申请（专利权）人： | 无锡奥芬光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/32 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷红梅;任月娜 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 增透膜 制备 复合层 树脂 交替层叠 基板 膜层 镀膜原料 附着力强 树脂基板 镀膜机 离子源 真空室 镀膜 匹配 蒸发 | ||
1.一种树脂增透膜，其特征在于：包括若干层相互交替层叠的Ti3O5层与SiAl层。
2.如权利要求1所述的树脂增透膜，其特征在于：所述Ti3O5层与SiAl层总共设置有5~7层。
3.如权利要求 1所述的树脂增透膜，其特征在于：所述Ti3O5层的厚度为10~400 nm。
4.如权利要求 1所述的树脂增透膜，其特征在于：所述SiAl层的厚度为10~400 nm。
5.如权利要求1所述的树脂增透膜，其特征在于：所述SiAl层中的SiO2 ：Al2O3的质量百分比为1.8:1~2.3:1。
6.如权利要求1所述的树脂增透膜，其特征在于：增透膜的底部设置有厚度为0.01~0.2mm的基板，所述基板为PET层、COP层、COC层、PMMA层或PC层。
7.权利要求1所述的树脂增透膜的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：
将基板置于含离子源的镀膜机的真空室中依次进行Ti3O5层与SiAl层的镀膜并对各层材料进行蒸发得到树脂增透膜。
8.如权利要求7所述的树脂增透膜的制备方法，其特征在于：镀膜前首先对基板进行离子源轰击，轰击时间为2~5min。
9.如权利要求7所述的树脂增透膜的制备方法，其特征在于：所述镀膜机的起始真空度为8.0×10-4pa~1.0×10-3Pa，镀膜机的温度为60~90℃；离子源的Beam电压为600~1300V，ACC电压为800~900V，Beam电流为600~1000mA。
10.如权利要求7所述的树脂增透膜的制备方法，其特征在于：所述Ti3O5层的蒸发速率为0.2~0.35nm/s，SiAl层的蒸发速率为0.4~0.6nm/s。
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