[发明专利]过滤装置在审

专利信息
申请号: 201810117233.8 申请日: 2018-02-06
公开(公告)号: CN108117197A 公开(公告)日: 2018-06-05
发明(设计)人: 张鹏飞 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: C02F9/04 分类号: C02F9/04;C02F103/02
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 430070 湖北省武汉市武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 本申请涉及液晶面板制造领域,一种过滤装置,装备于显影机的水洗循环系统中。所述过滤装置包括储水器、加药器和滤网,所述储水器串联于所述水洗循环系统中,所述加药器位于所述进水管和所述滤网之间,所述加药器用于向所述储水器内注入高分子絮凝剂,以使得清洁用水中的光阻残渣与所述高分子絮凝剂发生作用形成絮凝团,从而被所述滤网过滤。本过滤装置可以将细微的光阻残渣通过絮凝形成大直径的絮凝团,絮凝团被所述滤网过滤后与清洁用水剥离,进而实现显影机的水洗循环系统对光阻残渣的过滤,清洁用水得以循环利用。
搜索关键词: 过滤装置 絮凝 清洁用水 循环系统 储水器 加药器 高分子絮凝剂 光阻残渣 滤网过滤 显影机 滤网 液晶面板制造 循环利用 进水管 过滤 串联 剥离 申请
【主权项】:
一种过滤装置,装备于显影机的水洗循环系统中,其特征在于,所述过滤装置包括储水器、加药器和滤网;所述储水器通过进水管和出水管串联于所述水洗循环系统中;所述加药器位于所述进水管和所述滤网之间,所述加药器用于向所述储水器内注入高分子絮凝剂,以使得所述储水器内清洁用水中的光阻残渣与所述高分子絮凝剂发生作用形成絮凝团;所述滤网用于过滤所述絮凝团。
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