[发明专利]过滤装置在审
| 申请号: | 201810117233.8 | 申请日: | 2018-02-06 |
| 公开(公告)号: | CN108117197A | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
| 发明(设计)人: | 张鹏飞 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | C02F9/04 | 分类号: | C02F9/04;C02F103/02 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址: | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 过滤装置 絮凝 清洁用水 循环系统 储水器 加药器 高分子絮凝剂 光阻残渣 滤网过滤 显影机 滤网 液晶面板制造 循环利用 进水管 过滤 串联 剥离 申请 | ||
1.一种过滤装置,装备于显影机的水洗循环系统中,其特征在于,所述过滤装置包括储水器、加药器和滤网;
所述储水器通过进水管和出水管串联于所述水洗循环系统中;
所述加药器位于所述进水管和所述滤网之间,所述加药器用于向所述储水器内注入高分子絮凝剂,以使得所述储水器内清洁用水中的光阻残渣与所述高分子絮凝剂发生作用形成絮凝团;
所述滤网用于过滤所述絮凝团。
2.如权利要求1所述过滤装置,其特征在于,所述储水器中还设有搅拌器,所述搅拌器用于促进光阻残渣与所述高分子絮凝剂的结合。
3.如权利要求2所述过滤装置,其特征在于,所述搅拌器与所述滤网在所述储水器中分列所述进水管一端和所述出水管一端。
4.如权利要求3所述过滤装置,其特征在于,所述出水管与所述水洗循环系统的水泵连接,所述水泵用于将过滤后的清洁用水增压以用于清洗,所述过滤装置还包括串联于所述出水管和所述水泵之间的蓄水器,所述蓄水器用于聚集过滤后的清洁用水以供给所述水泵。
5.如权利要求4所述过滤装置,特征在于,所述蓄水器还设有中和器,所述中和器用于向所述蓄水器内注入分散剂,以调整所述蓄水器内清洁用水的水质。
6.如权利要求5所述过滤装置,其特征在于,所述蓄水器中设有传感器和控制器,所述传感器、所述控制器和所述中和器电连接,所述传感器用于感应所述蓄水器中清洁用水的水质,所述控制器通过所述传感器反馈的水质信号以控制所述中和器的分散剂注入量。
7.如权利要求2~6中任一项所述过滤装置,其特征在于,所述过滤装置还包括串联于所述出水管和所述水泵之间的光阻滤芯,所述光阻滤芯用于过滤清洁用水中未与所述高分子絮凝剂发生结合的光阻残渣。
8.如权利要求7所述过滤装置,其特征在于,所述储水器中的所述搅拌器为多个,多个所述搅拌器沿所述储水器中的水流方向依次排布,多个所述搅拌器用于使光阻残渣和所述高分子絮凝剂结合更充分。
9.如权利要求8所述过滤装置,其特征在于,相邻两个所述搅拌器的旋向和/或转速不同,以促进光阻残渣和所述高分子絮凝剂的结合。
10.如权利要求8所述过滤装置,其特征在于,所述加药器设置于两个所述搅拌器之间,以使得所述高分子絮凝剂从两个所述搅拌器之间注入所述储水器。
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