[发明专利]过滤装置

说明书

本申请涉及液晶面板制造领域，一种过滤装置，装备于显影机的水洗循环系统中。所述过滤装置包括储水器、加药器和滤网，所述储水器串联于所述水洗循环系统中，所述加药器位于所述进水管和所述滤网之间，所述加药器用于向所述储水器内注入高分子絮凝剂，以使得清洁用水中的光阻残渣与所述高分子絮凝剂发生作用形成絮凝团，从而被所述滤网过滤。本过滤装置可以将细微的光阻残渣通过絮凝形成大直径的絮凝团，絮凝团被所述滤网过滤后与清洁用水剥离，进而实现显影机的水洗循环系统对光阻残渣的过滤，清洁用水得以循环利用。

技术领域

本申请涉及液晶面板制造领域，尤其涉及一种显影机的水洗循环系统中的过滤装置。

背景技术

显影机是液晶面板制造行业中必不可少的设备，显影机中的水洗循环系统用于清洗玻璃基板表面的部分光阻。当前显影机中的水洗循环系统通常将厂端直供的清洁用水供入第一腔室以清洗基板，并将清洗后的用水进行收集，待其回流进入储水器后，再经光阻滤芯过滤后，由水泵打入第二腔室。基板在第一腔室清洗后，再进入第二腔室进行二次清洗，以保证基板的洗净效果。同时，这样的操做还能起到循环用水的作用，利于节约。

由于水中的光阻残渣粒径细至微米级，为了保证回收利用的清洁用水具备良好的过滤效果，需要采用孔径10～0.45um的专用光阻滤芯。此类光阻滤芯的价格高昂，且寿命较短，长期使用过程中极易造成堵塞，需频繁更换新光阻滤芯，成本相应升高。进一步的，还易形成产线挤压，造成现场管控及人力成本的浪费。

发明内容

本申请本提出一种过滤装置，可以有效替代光阻滤芯或延长光阻滤芯的使用寿命，降低生产成本。本申请包括如下技术方案：

一种过滤装置，装备于显影机的水洗循环系统中，所述过滤装置包括储水器、加药器和滤网；所述储水器通过进水管和出水管串联于所述水洗循环系统中；所述加药器位于所述进水管和所述滤网之间，所述加药器用于向所述储水器内注入高分子絮凝剂，以使得所述储水器内清洁用水中的光阻残渣与所述高分子絮凝剂发生作用形成絮凝团；所述滤网用于过滤所述絮凝团。

其中，所述储水器中还设有搅拌器，所述搅拌器用于促进光阻残渣与所述高分子絮凝剂的结合。

其中，所述搅拌器与所述滤网在所述储水器中分列所述进水管一端和所述出水管一端。

其中，所述出水管与所述水洗循环系统的水泵连接，所述水泵用于将过滤后的清洁用水增压以用于清洗，所述过滤装置还包括串联于所述出水管和所述水泵之间的蓄水器，所述蓄水器用于聚集过滤后的清洁用水以供给所述水泵。

其中，所述蓄水器还设有中和器，所述中和器用于向所述蓄水器内注入分散剂，以调整所述蓄水器内清洁用水的水质。

其中，所述蓄水器中设有传感器和控制器，所述传感器、所述控制器和所述中和器电连接，所述传感器用于感应所述蓄水器中清洁用水的水质，所述控制器通过所述传感器反馈的水质信号以控制所述中和器的分散剂注入量。

其中，所述过滤装置还包括串联于所述出水管和所述水泵之间的光阻滤芯，所述光阻滤芯用于过滤清洁用水中未与所述高分子絮凝剂发生结合的光阻残渣。

其中，所述储水器中的所述搅拌器为多个，多个所述搅拌器沿所述储水器中的水流方向依次排布，多个所述搅拌器用于使光阻残渣和所述高分子絮凝剂结合更充分。

其中，相邻两个所述搅拌器的旋向和/或转速不同，以促进光阻残渣和所述高分子絮凝剂的结合。

其中，所述加药器设置于两个所述搅拌器之间，以使得所述高分子絮凝剂从两个所述搅拌器之间注入所述储水器。