[发明专利]静电激励/压阻检测硅微谐振式压力传感器闭环自激系统

摘要

本发明涉及静电激励/压阻检测硅微谐振式压力传感器闭环自激系统，包括敏感结构、前级处理电路、锁相环和幅值调整器，敏感结构由激励元件、谐振器和拾振电阻组成，前级处理电路由仪表放大器、带通滤波器、移相器、波形变换器和分频器组成，拾振电阻输出的微弱信号经过仪表放大器放大，经过带通滤波器滤除杂波并修整波形，通过移相器对系统的相位进行调整，波形变换器作为模拟电路和数字电路的接口电路将正弦波改变成方波，再经过分频器将信号二分频作为锁相环的输入信号，锁相环的输出信号经过幅值调整器后作为激励元件的激励信号激励谐振器，实现传感器的闭环锁相。本发明提高了谐振频率测量精度和速度、扩大量程，并且改善了系统的动态特性。

主权项

1.一种静电激励/压阻检测硅微谐振式压力传感器闭环自激系统，其特征在于：包括敏感结构(1)、前级处理电路、锁相环(7)和幅值调整器(8)，所述敏感结构(1)由激励元件、谐振器和拾振电阻组成，所述前级处理电路由仪表放大器(2)、带通滤波器(3)、移相器(4)、波形变换器(5)和分频器(6)组成，所述拾振电阻输出的微弱信号经过仪表放大器(2)放大，经过带通滤波器(3)滤除杂波并修整波形，通过移相器(4)对系统的相位进行调整，波形变换器(5)作为模拟电路和数字电路的接口电路将正弦波改变成方波，再经过分频器(6)将信号二分频作为锁相环(7)的输入信号，锁相环(7)的输出信号经过幅值调整器(8)后作为激励元件的激励信号激励谐振器，实现传感器的闭环锁相。